[發明專利]含氟光致產酸劑及其制備方法與應用

在審

• 申請號: 202110872948.6
• 申請日: 2021-07-30
• 公開（公告）號: CN113548988A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 董其寶;符勇
• 申請（專利權）人: 安徽慶潤新材料技術有限公司
• 主分類號: C07C309/42
• 分類號: C07C309/42;C07C303/32;C07C381/12;C08F220/18;C08F220/38;C08F220/32;C08F212/14;G03F7/004
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 繆璐歡

1.一種含氟光致產酸劑，其特征在于：所述含氟光致產酸劑包括結構式E、結構式F所示的化合物中的一種或兩種，或所述含氟光致產酸劑的結構式為所述結構式E或結構式F如下：

2.一種制備如權利要求1所述的含氟光致產酸劑的方法，其特征在于：包括以下步驟：

(1)將氟代苯酚滴加到發煙硫酸中，攪拌后倒入冰鹽水，然后與甲基丙烯酸在介質三氟乙酸和三氟乙酸酐下反應，獲得含氟丙烯酸酯磺酸鹽；所述氟代苯酚包括2,3,5,6-四氟苯酚或三氟甲基苯酚；

(2)將獲得的含氟丙烯酸酯磺酸鹽置于三苯基氯化硫水溶液室溫過夜，即獲得光致產酸劑。

3.根據權利要求2所述的含氟光致產酸劑的制備方法，其特征在于：所述三苯基氯化硫水溶液的質量濃度為50wt％。

4.一種光敏樹脂，其特征在于：包括權利要求1所述的含氟光致產酸劑。

5.根據權利要求4所述的光敏樹脂，其特征在于：所述光敏樹脂主要由以下重量百分比的原料制成：

6.根據權利要求5所述的光敏樹脂，其特征在于：所述引發劑為偶氮二異丁氰。

7.根據權利要求5所述的光敏樹脂，其特征在于：所述溶劑包括四氫呋喃和乙腈，所述四氫呋喃和乙腈的體積比為1:1。

8.一種制備如權利要求4-7中任一項所述的光敏樹脂的方法，其特征在于：將含氟光致產酸劑與單體共聚和，生成光敏樹脂。

9.根據權利要求8所述的光敏樹脂的制備方法，其特征在于：將4-羥基苯乙烯、甲基丙烯酸2-氧代四氫呋喃-3-基酯、2-噻吩甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯、含氟光致產酸劑和引發劑溶解在溶劑中，反應后，往溶液中加入二乙基醚或石油醚，沉淀過濾，將產物真空干燥，將產物溶解于四氫呋喃中，用石油醚沉淀后，真空干燥，即制得光敏樹脂。

10.根據權利要求8所述的光敏樹脂的制備方法，其特征在于：所述反應的溫度為65℃，反應時間為24h。