[發明專利]靜壓傳感器的制作方法

有效

• 申請號: 202110871916.4
• 申請日: 2021-07-30
• 公開（公告）號: CN113607332B
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 汪超;張鵬飛;陳志超
• 申請（專利權）人: 深圳技術大學
• 主分類號: G01L11/02
• 分類號: G01L11/02;G02B6/44
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 盧澤明

本發明涉及傳感器技術領域，公開了一種靜壓傳感器的制作方法，包括如下步驟：提供第一毛細管和光纖，將第一毛細管套設于光纖外；采用UV膠將第一毛細管與光纖同軸固定，并使光纖的第一端伸出第一毛細管的第一端，伸長量為L0；提供內徑大小為D1的第二毛細管，將第二毛細管用疏水溶液浸泡，經過烘干處理后，使第二毛細管的內壁附上一層疏水膜；將第二毛細管套設于第一毛細管外；采用UV膠將第二毛細管與第一毛細管同軸固定，并使第二毛細管的第一端伸出光纖的第一端，伸長量為L1。采用本方法制作而成的傳感器，在做靜態壓力測量時，具有較高的靈敏度，并能夠通過設計L0、L1和D1之間的關系，來優化傳感器的量程和靈敏度。

技術領域

本發明涉及傳感器技術領域，具體涉及一種靜壓傳感器的制作方法。

背景技術

液體壓力傳感器廣泛應用于工業、醫療以及環境勘探等領域，而光纖FPI壓力傳感器由于其易于應用加裝、體積較小、能夠適應于受限空間和極端環境，受到了極大的歡迎。現有技術中，依靠光纖結構在液體壓力下產生形變進行傳感的光纖FPI液壓傳感器靈敏度不高，引入增敏結構可以一定程度上提高光纖FPI液壓傳感器的靈敏度，但是會增加FPI液壓傳感器探頭的體積以及結構的復雜性，不易加工；膜結構的光纖FPI液壓傳感器雖然具有較高的靈敏度，但是超薄的膜結構在受壓時易損壞，使得光纖FPI液壓傳感器的使用壽命較低。

發明內容

針對現有技術存在的上述技術問題，本發明提供一種靜壓傳感器的制作方法，能夠制作出一種靈敏度較高的適用于靜壓測量的傳感器。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種靜壓傳感器的制作方法，包括如下步驟：

S1、提供第一毛細管和光纖，將第一毛細管套設于光纖外；

S2、采用UV膠將第一毛細管與光纖同軸固定，并使光纖的第一端伸出第一毛細管的第一端，伸長量為L0；

S3、提供內徑大小為D1的第二毛細管，將第二毛細管用疏水溶液浸泡，經過烘干處理后，使第二毛細管的內壁附上一層疏水膜；

S4、將第二毛細管套設于第一毛細管外；

S5、采用UV膠將第二毛細管與第一毛細管同軸固定，并使第二毛細管的第一端伸出光纖的第一端，伸長量為L1。

上述的靜壓傳感器的制作方法，所述步驟S2具體包括如下步驟：

S21、采用微位移平臺將第一毛細管的第一端與光纖的第一端同軸放置；

S22、在第一毛細管的第一端和光纖的第一端進行UV膠點涂及紫外固化，使光纖的第一端伸出第一毛細管的第一端，且伸長量為L0；

S23、采用微位移平臺將第一毛細管的第二端與光纖的第二端同軸放置；

S24、在第一毛細管的第二端和光纖的第二端進行UV膠點涂及紫外固化。

上述的靜壓傳感器的制作方法，所述步驟S22具體包括：首先使光纖的第一端伸出第一毛細管的第一端，且伸長量大于L0，在光纖伸長部位靠近第一毛細管處進行UV膠點涂，再使光纖的第一端回退一定距離，使得光纖的第一端伸出第一毛細管的第一端的伸長量為L0，最后進行紫外固化。

上述的靜壓傳感器的制作方法，在所述步驟S1中，提供第一毛細管和光纖之后，分別將第一毛細管的第一端和光纖的第一端切平，使得第一毛細管的第一端的端面垂直于第一毛細管的軸線，光纖的第一端的端面垂直于光纖的軸線，之后，再將第一毛細管套設于光纖外。

上述的靜壓傳感器的制作方法，在所述步驟S3中，提供第二毛細管后，將第二毛細管的第一端切平，使得第二毛細管的第二端的端面垂直于第二毛細管的軸線，之后，再將第二毛細管用疏水溶液浸泡處理。

上述的靜壓傳感器的制作方法，所述步驟S5具體包括如下步驟：