[發明專利]靜壓傳感器的制作方法

有效

• 申請號: 202110871916.4
• 申請日: 2021-07-30
• 公開（公告）號: CN113607332B
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 汪超;張鵬飛;陳志超
• 申請（專利權）人: 深圳技術大學
• 主分類號: G01L11/02
• 分類號: G01L11/02;G02B6/44
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 盧澤明

1.一種靜壓傳感器的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、提供第一毛細管（200）和光纖（100），將第一毛細管（200）套設于光纖（100）外；

S2、采用UV膠（400）將第一毛細管（200）與光纖（100）同軸固定，并使光纖（100）的第一端伸出第一毛細管（200）的第一端，伸長量為L₀；

S3、提供內徑大小為D₁的第二毛細管（300），將第二毛細管（300）用疏水溶液浸泡，經過烘干處理后，使第二毛細管（300）的內壁附上一層疏水膜（310）；

S4、將第二毛細管（300）套設于第一毛細管（200）外；

S5、采用UV膠（400）將第二毛細管（300）與第一毛細管（200）同軸固定，并使第二毛細管（300）的第一端伸出光纖（100）的第一端，伸長量為L₁；

其中，步驟S5包括如下步驟：

S51、采用微位移平臺將第二毛細管（300）與第一毛細管（200）同軸放置，并使第二毛細管（300）的第一端伸出光纖（100）的第一端，且伸長量為L₁，從第二毛細管（300）的第二端進行UV膠（400）點涂，當UV膠（400）被向內吸入并靠近第一毛細管（200）的第一端時，進行紫外固化；

所述靜壓傳感器的測量壓力P滿足：

；

所述靜壓傳感器的自由光譜范圍FSR滿足：

；

其中，?，D₁為所述第二毛細管（300）的內徑，D₂為光纖（100）的內徑，P₀為初始壓力，L₀為擴展空氣腔的長度，D₀為擴展空氣腔的相對內徑，且，L_X為光纖（100）的第一端的端面到液面的最小距離。

2.根據權利要求1所述的靜壓傳感器的制作方法，其特征在于，步驟S2具體包括如下步驟：

S21、采用微位移平臺將第一毛細管（200）的第一端與光纖（100）的第一端同軸放置；

S22、在第一毛細管（200）的第一端和光纖（100）的第一端進行UV膠（400）點涂及紫外固化，使光纖（100）的第一端伸出第一毛細管（200）的第一端，且伸長量為L₀；

S23、采用微位移平臺將第一毛細管（200）的第二端與光纖（100）的第二端同軸放置；

S24、在第一毛細管（200）的第二端和光纖（100）的第二端進行UV膠（400）點涂及紫外固化。

3.根據權利要求2所述的靜壓傳感器的制作方法，其特征在于，步驟S22具體包括：首先使光纖（100）的第一端伸出第一毛細管（200）的第一端，且伸長量大于L₀，在光纖（100）伸長部位靠近第一毛細管（200）處進行UV膠（400）點涂，使光纖（100）的第一端回退一定距離，使得光纖（100）的第一端伸出第一毛細管（200）的第一端的伸長量為L₀，最后進行紫外固化。

4.根據權利要求1所述的靜壓傳感器的制作方法，其特征在于，在步驟S1中，提供第一毛細管（200）和光纖（100）之后，分別將第一毛細管（200）的第一端和光纖（100）的第一端切平，使得第一毛細管（200）的第一端的端面垂直于第一毛細管（200）的軸線，光纖（100）的第一端的端面垂直于光纖（100）的軸線，之后，再將第一毛細管（200）套設于光纖（100）外。

5.根據權利要求1所述的靜壓傳感器的制作方法，其特征在于，在步驟S3中，提供第二毛細管（300）后，將第二毛細管（300）的第一端切平，使得第二毛細管（300）的第二端的端面垂直于第二毛細管（300）的軸線，之后，再將第二毛細管（300）用疏水溶液浸泡處理。

6.根據權利要求1至5任一項所述的靜壓傳感器的制作方法，其特征在于，在全部步驟中，光纖（100）的第一端的端面保持潔凈。