[發(fā)明專利]一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110866745.6
• 申請(qǐng)日: 2021-07-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113628991A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹明清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市星國(guó)華先進(jìn)裝備科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677;H01L21/687;B24B29/02;B24B41/06;B24B41/00;B08B1/04
• 代理公司: 合肥國(guó)晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34204
• 代理人: 戈余麗

1.一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂，包括固定座(1)和移動(dòng)座(2)，其特征在于：所述固定座(1)和移動(dòng)座(2)上均安裝有兩個(gè)夾持部，所述夾持部用于夾持晶圓，所述固定座(1)上安裝有移動(dòng)單元，所述移動(dòng)單元用于所述移動(dòng)座(2)移動(dòng)；

所述固定座(1)上安裝有清理驅(qū)動(dòng)單元，所述清理驅(qū)動(dòng)單元與所述夾持部相連接，所述清理驅(qū)動(dòng)單元用于清理晶圓上的拋光液，所述固定座(1)上安裝有拋光液排出單元，所述拋光液排出單元用于排出所述清理單元上的拋光液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂，其特征在于：四個(gè)所述夾持部包括分別固定連接于所述固定座(1)和移動(dòng)座(2)上的一對(duì)固定管，四個(gè)所述固定管上均滑動(dòng)連接有固定架(23)，四個(gè)所述固定架(23)的一端均固定連接有夾持板(3)，所述夾持板(3)的一側(cè)為錐形結(jié)構(gòu)，四個(gè)所述固定架(23)上均套接有夾緊彈簧(24)，位于所述固定座(1)一側(cè)的所述夾緊彈簧(24)的一端與所述固定座(1)固定連接，位于所述移動(dòng)座(2)一側(cè)上的所述夾緊彈簧(24)的一端與所述移動(dòng)座(2)固定連接，所述清理驅(qū)動(dòng)單元與所述夾持板(3)相連接，所述移動(dòng)單元與所述移動(dòng)座(2)相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂，其特征在于：所述移動(dòng)單元包括固定連接于所述移動(dòng)座(2)上的固定板(6)，所述固定座(1)的一側(cè)固定連接有支撐板(10)，所述支撐板(10)上固定連接有氣缸組件(7)，所述固定座(1)上開(kāi)設(shè)有滑孔，所述氣缸組件(7)的伸縮端貫穿所述滑孔，并與所述固定板(6)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂，其特征在于：所述清理驅(qū)動(dòng)單元包括相連接的驅(qū)動(dòng)組件和清理組件，所述驅(qū)動(dòng)組件包括分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接于四個(gè)所述夾持板(3)上的滾輪(22)，位于所述固定座(1)一側(cè)上的一對(duì)所述滾輪(22)上均固定連接有從動(dòng)帶輪(21)，所述固定座(1)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上固定套接有驅(qū)動(dòng)帶輪(18)和從動(dòng)齒輪(17)，所述固定座(1)的頂部開(kāi)設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)滑動(dòng)連接有滑塊，上所述滑塊的頂部固定連接有固定軸，所述固定軸上轉(zhuǎn)動(dòng)套接有張緊帶輪(19)，所述驅(qū)動(dòng)帶輪(18)、所述張緊帶輪(19)、所述從動(dòng)帶輪(21)上張緊有同一個(gè)皮帶(9)，所述滑槽內(nèi)設(shè)置有張緊彈簧(20)，所述張緊彈簧(20)的兩端分別與所述固定座(1)和所述滑塊固定連接，所述固定座(1)的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)的輸出端固定連接有驅(qū)動(dòng)齒輪(16)，所述驅(qū)動(dòng)齒輪(16)與所述從動(dòng)齒輪(17)相嚙合，所述清理組件與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)相連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂，其特征在于：所述清理組件包括固定套接于所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)輸出端上的保持桿(5)，所述保持桿(5)的底部固定連接有吸水海綿(4)，所述拋光液排出單元用于排出所述吸水海綿(4)上的拋光液。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂，其特征在于：所述拋光液排出單元包括固定連接于所述固定座(1)上的清理板(8)，所述清理板(8)的底部固定連接有弧形凸起(26)，所述清理板(8)的底部開(kāi)設(shè)有導(dǎo)液槽(11)，所述清理板(8)的頂部開(kāi)設(shè)有排液槽(13)，所述清理板(8)內(nèi)開(kāi)設(shè)有與所述導(dǎo)液槽(11)和所述排液槽(13)相連通的排液腔(14)，所述清理板(8)一側(cè)側(cè)壁的頂部和底部均固定連接有排液管(12)，所述排液管(12)與收集箱相連接，所述弧形凸起(26)用于擠壓所述吸水海綿(4)，使所述吸水海綿(4)上的拋光液排出。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂，其特征在于：所述導(dǎo)液槽(11)和所述排液槽(13)均為傾斜設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種針測(cè)機(jī)晶圓傳輸機(jī)構(gòu)手臂，其特征在于：所述清理板(8)的一端固定連接有安裝板(25)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)固定連接在所述安裝板(25)上。