[發明專利]一種應用于異質結的ITO靶材及其制備方法

在審

• 申請號: 202110864783.8
• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號: CN113666736A
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 雷雨;周志宏;肖世洪;劉芳
• 申請（專利權）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: C04B35/457
• 分類號: C04B35/457;C04B35/622;C04B35/64;C04B35/634;C04B35/632;C23C14/08;C23C14/34
• 代理公司: 廣州一銳專利代理有限公司 44369
• 代理人: 朱蓉艷

1.一種應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、將氧化銦粉體、氧化錫粉體球磨混合均勻，得到ITO粉體；

S2、將ITO粉體、分散劑、燒結助劑、去離子水混合均勻，得到漿料；

S3、將所述漿料經過噴霧造粒，得到粉體；

S4、將所述粉體置于模具中進行壓制成型，得到素坯；

S5、將素坯在氧氣氛圍下燒結，得到應用于異質結的ITO靶材。

2.根據權利要求1所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，所述S1中氧化銦粉體、氧化錫粉體的質量比為88~92：8~12。

3.根據權利要求1所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，所述ITO粉體、分散劑、燒結助劑、去離子水質量比為100：0.5~2：0.4~1.2：10~25。

4.根據權利要求1所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，所述ITO粉體、分散劑、燒結助劑、去離子水質量比為100：1：0.8：24。

5.根據權利要求1所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，所述分散劑按質量份百分比計，包括：45~60%聚乙二醇4000、30~40%β-丙氨酸、10~20%檸檬酸三銨。

6.根據權利要求1所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，所述燒結助劑按質量份百分比計，包括：50~70%硅酸鎂、25~40%氧化硼、2~6%七氧化二錸。

7.根據權利要求1所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，所述燒結助劑按質量份百分比計，包括：60%硅酸鎂、35%氧化硼、5%七氧化二錸。

8.根據權利要求1所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，所述噴霧造粒具體為：將所述漿料加入到離心式噴霧干燥機進行噴霧造粒；所述噴霧造粒條件為：熱空氣的進口溫度80～95℃，出口溫度60～75℃，進口風量160～200m³/h，出口風量200～250m³/h，離心式霧化器轉速為5000～10000r/min，漿料泵送速率為20～28ml/min。

9.根據權利要求1所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法，其特征在于，所述在氧氣氛圍下燒結具體為：將素坯置入常壓氣氛燒結爐中，在純氧氣氛中在1550~1650℃下燒結4~10h。

10.一種應用于異質結的ITO靶材，其特征在于，采用權利要求1~9任一所述的應用于異質結的ITO靶材的制備方法制備得到。