[發明專利]測漏推車及測漏方法

在審

• 申請號: 202110864554.6
• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號: CN115683458A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 李思遠
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01M3/02
• 分類號: G01M3/02;C23C16/44
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 高天華;張穎玲

本申請實施例提供一種測漏推車及測漏方法，其中，測漏推車至少包括：車體和設置于所述車體上的固定夾；所述車體用于放置待測漏組件；所述固定夾用于固定所述車體與所述待測漏組件；所述車體具有一測漏孔，所述測漏孔位于所述待測漏組件在所述車體上的投影區域內，所述測漏孔用于實現對所述待測漏組件進行測漏。通過本申請實施例提供的測漏推車能夠在機臺外部實現對待測漏組件進行測漏，節約了時間成本和人力成本。

技術領域

本申請涉及半導體技術領域，涉及但不限于一種測漏推車及測漏方法。

背景技術

薄膜沉積機臺在腔室清洗保養(Preventive Maintenance，PM)時會對腔室頂部的蓋子(Dome)和與腔室頂部的蓋子連接的反應氣體的噴嘴(Top injector)進行更換，并對下機的Dome和Top injector進行清洗，以便下次使用。

然而，由于Dome和Top injector均屬于脆性陶瓷材料，在清洗過程中，Dome和Topinjector的表面容易產生劃痕，而劃痕會影響到Dome和Top injector隙合面的隙合可靠性，進而使得薄膜沉積機臺的腔室泄漏率(chamber leak rate)增大，無法通過氦檢漏試驗(Helium leak test)，如此便需要重裝Dome和Top injector，而每次重裝都會消耗PM中的大部分時間且耽誤其他PM項目的同時進行，從而增加了用料成本和時間成本。

發明內容

有鑒于此，本申請實施例提供一種測漏推車及測漏方法。

第一方面，本申請實施例提供一種測漏推車，至少包括：車體和設置于所述車體上的固定夾；

其中，所述車體用于放置待測漏組件；

所述固定夾用于固定所述車體與所述待測漏組件；

所述車體具有一測漏孔，所述測漏孔位于所述待測漏組件在所述車體上的投影區域內，所述測漏孔用于實現對所述待測漏組件進行測漏。

在一些實施例中，所述車體至少包括一箱體；所述箱體具有一底板和與所述底板連接的至少一個側板；

所述測漏孔位于所述底板上，且所述固定夾位于所述至少一個側板上；所述箱體用于放置所述待測漏組件。

在一些實施例中，所述底板上還設置有一凹槽，所述凹槽位于所述底板與所述待測漏組件的接觸位置；

所述凹槽用于放置密封件，以通過所述密封件實現所述底板與所述待測漏組件之間的密封。

在一些實施例中，所述車體還包括一連接支架；所述測漏推車還包括可剎車萬向輪；

所述連接支架的一端與所述箱體固定連接，所述連接支架用于支撐所述箱體；

所述連接支架的另一端與所述可剎車萬向輪轉動連接，所述可剎車萬向輪使得所述測漏推車能夠自由移動。

在一些實施例中，所述測漏推車還包括設置于所述連接支架之間的支撐臺；

所述支撐臺位于所述底板的投影區域內，且所述支撐臺的面積小于或者等于所述底板的面積。

在一些實施例中，所述連接支架包括連接桿和調整腳架；

所述連接桿和所述調整腳架卡接，且所述連接桿與所述調整腳架能夠相對移動；所述連接桿和所述調整腳架共同用于調節所述測漏推車的高度。

在一些實施例中，所述支撐臺與所述調整腳架固定連接或者滑動連接；

所述調整腳架還用于調節所述支撐臺的高度。

在一些實施例中，所述測漏孔通過法蘭連接測漏管道的一端；