[發明專利]測漏推車及測漏方法

在審

• 申請號: 202110864554.6
• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號: CN115683458A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 李思遠
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01M3/02
• 分類號: G01M3/02;C23C16/44
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 高天華;張穎玲

1.一種測漏推車，其特征在于，至少包括：車體和設置于所述車體上的固定夾；

其中，所述車體用于放置待測漏組件；

所述固定夾用于固定所述車體與所述待測漏組件；

所述車體具有一測漏孔，所述測漏孔位于所述待測漏組件在所述車體上的投影區域內，所述測漏孔用于實現對所述待測漏組件進行測漏。

2.根據權利要求1所述的測漏推車，其特征在于，所述車體至少包括一箱體；所述箱體具有一底板和與所述底板連接的至少一個側板；

所述測漏孔位于所述底板上，且所述固定夾位于所述至少一個側板上；所述箱體用于放置所述待測漏組件。

3.根據權利要求2所述的測漏推車，其特征在于，所述底板上還設置有一凹槽，所述凹槽位于所述底板與所述待測漏組件的接觸位置；

所述凹槽用于放置密封件，以通過所述密封件實現所述底板與所述待測漏組件之間的密封。

4.根據權利要求3所述的測漏推車，其特征在于，所述車體還包括一連接支架；所述測漏推車還包括可剎車萬向輪；

所述連接支架的一端與所述箱體固定連接，所述連接支架用于支撐所述箱體；

所述連接支架的另一端與所述可剎車萬向輪轉動連接，所述可剎車萬向輪使得所述測漏推車能夠自由移動。

5.根據權利要求4所述的測漏推車，其特征在于，所述測漏推車還包括設置于所述連接支架之間的支撐臺；

所述支撐臺位于所述底板的投影區域內，且所述支撐臺的面積小于或者等于所述底板的面積。

6.根據權利要求5所述的測漏推車，其特征在于，所述連接支架包括連接桿和調整腳架；

所述連接桿和所述調整腳架卡接，且所述連接桿與所述調整腳架能夠相對移動；所述連接桿和所述調整腳架共同用于調節所述測漏推車的高度。

7.根據權利要求6所述的測漏推車，其特征在于，所述支撐臺與所述調整腳架固定連接或者滑動連接；

所述調整腳架還用于調節所述支撐臺的高度。

8.根據權利要求1所述的測漏推車，其特征在于，所述測漏孔通過法蘭連接測漏管道的一端；

所述測漏管道的另一端分別連接真空泵和測漏儀，所述真空泵和所述測漏儀共同用于通過所述測漏管道和所述測漏孔對所述待測漏組件進行測漏。

9.根據權利要求1至8任一項所述的測漏推車，其特征在于，所述待測漏組件至少包括第一組件和第二組件；

其中，所述第一組件和所述第二組件分別為特定機臺上的兩個獨立的部件。

10.根據權利要求9所述的測漏推車，其特征在于，所述第一組件包括腔室圓頂；所述第二組件包括噴氣頭；

所述腔室圓頂和所述噴氣頭為薄膜沉積機臺上的兩個獨立的部件。

11.一種測漏方法，其特征在于，至少應用于上述權利要求1至10任一項所述的測漏推車；所述方法包括：

通過所述測漏推車對待測漏組件進行預測漏；

當所述預測漏結果滿足要求時，在特定機臺上對所述待測漏組件進行再次測漏。

12.根據權利要求11所述的方法，其特征在于，所述測漏推車至少包括車體和設置于所述車體上的固定夾；所述車體至少包括一箱體，所述箱體至少具有一底板，且所述底板上設置有一測漏孔和一凹槽；

所述通過所述測漏推車對待測漏組件進行預測漏，包括：

在所述凹槽中放置密封件；

通過所述密封件和所述固定夾，將所述待測漏組件密封固定于所述測漏推車上；

通過測漏管道連接所述測漏孔、真空泵和測漏儀；

通過所述真空泵和所述測漏儀對所述待測漏組件進行預測漏。