[發(fā)明專利]液晶玻璃基板研磨盤平坦度輔助檢測裝置及檢測方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110861503.8
• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號: CN113701674A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 程秀文;張小虎
• 申請（專利權(quán)）人: 蚌埠高華電子股份有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G01B11/02
• 代理公司: 合肥鴻知運知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34180
• 代理人: 王昕

本發(fā)明公開了液晶玻璃基板研磨盤平坦度輔助檢測裝置及檢測方法，涉及TFT?LCD玻璃深加工技術(shù)領(lǐng)域。在本發(fā)明中：平坦度輔助檢測裝置包括檢測長條本體和外控盒，外控盒位于檢測長條本體的一側(cè)端，檢測長條本體的另一端設(shè)置有端側(cè)對徑安裝板，端側(cè)對徑安裝板的外側(cè)端面嵌入安裝有對徑傳感條；檢測長條本體的下側(cè)面嵌入安裝有邊側(cè)可見光定位器和若干依次排列的光電距離傳感探頭；檢測長條本體的上側(cè)面固定設(shè)置有一組吸附塊，檢測長條本體的上側(cè)面嵌入安裝有位于兩個吸附塊之間的水平檢測機(jī)構(gòu)。本發(fā)明實現(xiàn)了小體積化、無外置連接線式的研磨盤多位平坦度檢測，避免了人力放置較重直規(guī)所產(chǎn)生的較大檢測誤差，提高了研磨盤的檢測效率和檢測精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于TFT-LCD玻璃深加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及液晶玻璃基板研磨盤平坦度輔助檢測裝置及檢測方法。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的TFT-LCD玻璃加工過程中，研磨盤作為玻璃基板的重要加工設(shè)備，其研磨的效果和品質(zhì)將會對TFT-LCD玻璃產(chǎn)品產(chǎn)生較大影響。

在進(jìn)行TFT-LCD玻璃研磨前，對研磨盤的研磨面進(jìn)行平坦度檢測是保證研磨品質(zhì)的前提操作，現(xiàn)有常用較重的直規(guī)進(jìn)行檢測，但人力測量上盤時需3人協(xié)同作業(yè)，比較費時、費力，人力放置直規(guī)易使直規(guī)兩端受力不均，進(jìn)而影響測量的準(zhǔn)確性。另外，測量下盤平坦度時用塞尺測量精度不夠，測量上盤平坦度時直規(guī)較重且用塞尺測量精度不夠，盤型不平影響研磨效果。這就需要設(shè)計一種新型的平坦度檢測裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)檢測方便且檢測效果較好。

現(xiàn)有專利文件一，公開號：CN201497483U，專利名稱：一種晶片研磨下盤面平整度測量裝置，主要技術(shù)內(nèi)容：包括尺底座以及固定連接在尺底座上的把持部，且該尺底座上還間隔地順序安裝有三個分別用于測量研磨下盤面外邊緣、內(nèi)部和內(nèi)邊緣的平整度測量儀，由此可知，由于本實用新型在同一尺底座上安裝有三個平整度測量儀，則進(jìn)行一次測量就可以反應(yīng)出該位置的平整度，而無須像現(xiàn)有技術(shù)中，需要分別測量三次，才能獲取下研磨盤面的平面精度，則本實用新型極大地提高了下研磨盤面平整度檢測速度，有效地提高了晶片加工的速度，同時還避免分次測量所造成的測量誤差，甚至由于操作失誤造成的測量錯誤。

上述專利文件一中，并不能夠較好的適用于TFT-LCD玻璃研磨盤中上下研磨盤的平坦度高效、精準(zhǔn)檢測。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供液晶玻璃基板研磨盤平坦度輔助檢測裝置及檢測方法，實現(xiàn)了小體積化、無外置連接線式的研磨盤多位平坦度檢測，避免了人力放置較重直規(guī)所產(chǎn)生的較大檢測誤差，提高了研磨盤的檢測效率和檢測精度。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

本發(fā)明為液晶玻璃基板研磨盤平坦度輔助檢測裝置，用于檢測上研磨盤的上研磨面、下研磨盤的下研磨面，上研磨盤上安裝有主軸桿，下研磨盤上配置有位于中部位置的下盤驅(qū)動齒柱和位于外邊緣位置的下盤外齒柱。

平坦度輔助檢測裝置包括檢測長條本體和外控盒，外控盒位于檢測長條本體的一側(cè)端，檢測長條本體的另一端設(shè)置有端側(cè)對徑安裝板，端側(cè)對徑安裝板的外側(cè)端面嵌入安裝有對徑傳感條；檢測長條本體的下側(cè)面嵌入安裝有邊側(cè)可見光定位器和若干依次排列的光電距離傳感探頭；檢測長條本體的上側(cè)面固定設(shè)置有一組吸附塊，檢測長條本體的上側(cè)面嵌入安裝有位于兩個吸附塊之間的水平檢測機(jī)構(gòu)，檢測長條本體的上側(cè)面設(shè)置有外齒塊和內(nèi)齒塊。

作為本發(fā)明中液晶玻璃基板研磨盤平坦度輔助檢測裝置的一種優(yōu)選技術(shù)方案：外控盒上配置有顯示屏，外控盒內(nèi)置主控板，主控板通過控制線路與邊側(cè)可見光定位器、吸附塊電連接，主控板通過信號傳輸線路與水平檢測機(jī)構(gòu)、光電距離傳感探頭和對徑傳感條電連接；外控盒的主控板上配置有無線模塊，用于控制信息的獲取和傳感檢測信息的上傳；外控盒上配置有用于整個外控盒的開關(guān)鍵、用于控制吸附塊的電控確認(rèn)鍵和用于開啟檢測平坦度的檢測的檢測信號鍵；外控盒內(nèi)置充電電源，為外控盒元器件提供電能。