[發明專利]感測裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 202110861483.4
• 申請日: 2021-07-29
• 公開（公告）號: CN113591687B
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發明（設計）人: 黃郁涵;丘兆仟
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G06V40/13
• 分類號: G06V40/13
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種感測裝置的制作方法，包括：

提供基板；

形成圖案化半導體層于所述基板上；

形成柵極絕緣層于所述基板上并覆蓋所述圖案化半導體層；

形成柵極于所述柵極絕緣層上；

形成層間介電層于所述基板上并覆蓋所述柵極及所述柵極絕緣層，且所述層間介電層具有暴露出部分所述圖案化半導體層的介電開口；

形成第二導電材料層于所述層間介電層上；

形成光感材料層于所述第二導電材料層上；

通過光掩模以于所述基板上形成圖案化光致抗蝕劑層，其中所述圖案化光致抗蝕劑層包括第一光致抗蝕劑區及第二光致抗蝕劑區，所述第一光致抗蝕劑區的厚度大于所述第二光致抗蝕劑區的厚度；

通過所述第一光致抗蝕劑區及所述第二光致抗蝕劑區，移除部分的所述光感材料層以形成圖案化光感材料層，且移除部分的所述第二導電材料層以形成第一感測電極及第一信號線，其中所述第一感測電極對應于所述第一光致抗蝕劑區，且所述第一信號線對應于所述第二光致抗蝕劑區；以及

移除部分的所述圖案化光感材料層，以形成光感層；以及

形成第二感測電極于所述光感層上。

2.如權利要求1所述的制作方法，還包括：

形成第一圖案化絕緣層于所述基板上，且所述第一圖案化絕緣層具有暴露出部分的所述光感層的第一開口及暴露出部分的所述第一信號線的第二開口；

形成第三導電材料層于所述第一圖案化絕緣層上，且填入所述第一開口及所述第二開口；以及

移除部分的所述第三導電材料層，以形成所述第二感測電極及第一連接線，其中所述第一連接線電連接于所述第二感測電極及所述第一信號線。

3.如權利要求1所述的制作方法，還包括：

在形成所述第一感測電極及所述第一信號線之后，減少所述第一光致抗蝕劑區的厚度以形成第三光致抗蝕劑區；以及

通過所述第三光致抗蝕劑區移除部分的所述圖案化光感材料層，以形成所述光感層。

4.如權利要求1所述的制作方法，還包括：

通過所述圖案化光致抗蝕劑層移除部分的所述第二導電材料層以形成第二信號線。

5.一種感測裝置，包括：

基板；

主動元件，設置于所述基板上，其中所述主動元件包括柵極、通道、源極及漏極；

光感元件，設置于所述基板上，其中所述光感元件包括第一感測電極、第二感測電極及夾于所述第一感測電極及所述第二感測電極之間的第一光感層，其中所述第一感測電極電連接于所述漏極，且所述第一光感層的面積與所述第一感測電極的面積基本上相同；

第二信號線，電連接于所述源極；以及

第二光感層，疊置于所述第二信號線上。

6.如權利要求5所述的感測裝置，所述第一感測電極的側壁與所述第一光感層的側壁基本上切齊。

7.如權利要求5所述的感測裝置，還包括：

第一信號線；以及

第一連接線，電連接于所述第二感測電極及所述第一信號線。

8.一種感測裝置，包括：

基板；

主動元件，設置于所述基板上，其中所述主動元件包括柵極、通道、源極及漏極；

光感元件，設置于所述基板上，其中所述光感元件包括第一感測電極、第二感測電極及夾于所述第一感測電極及所述第二感測電極之間的第一光感層，其中所述漏極完全重疊于所述第一感測電極；

第二信號線，電連接于所述源極；以及

第二光感層，疊置于所述第二信號線上。

9.如權利要求8所述的感測裝置，還包括：

第一信號線；以及

第一連接線，電連接于所述第二感測電極及所述第一信號線。