[發明專利]一種用于防止單顆載具翹曲結構在審
| 申請號: | 202110860084.6 | 申請日: | 2021-07-28 |
| 公開(公告)號: | CN113594082A | 公開(公告)日: | 2021-11-02 |
| 發明(設計)人: | 李思捷;馬勉之 | 申請(專利權)人: | 華天科技(南京)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人: | 陳翠蘭 |
| 地址: | 211805 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 防止 單顆載具翹曲 結構 | ||
1.一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,包括載具本體(1);所述載具本體(1)上設有若干產品定位孔(2)和應力釋放孔(4),產品通過產品定位孔(2)放置在載具本體(1)上,所述應力釋放孔(4)在載具本體(1)上分散分布設置,實現在高溫中減少載具本體(1)的受熱面積,降低載具本體(1)發生翹曲現象。
2.根據權利要求1所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,若干產品定位孔(2)與若干應力釋放孔(4)錯位排布在載具本體(1)上設置。
3.根據權利要求1所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,若干產品定位孔(2)通過陣列方式排布在載具本體(1)上。
4.根據權利要求1所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,若干應力釋放孔(4)通過陣列方式排布在載具本體(1)上。
5.根據權利要求1所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,所述產品定位孔(2)的結構與產品的安裝結構對應設置。
6.根據權利要求1所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,若干應力釋放孔(4)的結構大小均相等。
7.根據權利要求1所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,所述應力釋放孔(4)的形狀包括圓形、矩形、三角形或者梯形。
8.根據權利要求1所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,若干應力釋放孔(4)之間相鄰的間距距離均相等。
9.根據權利要求1所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,所述載具本體(1)上還設有若干產品位置定位柱(3),若干產品位置定位柱(3)分別沿著每一個產品定位孔(2)的邊沿固定設置。
10.根據權利要求9所述的一種用于防止單顆載具翹曲結構,其特征在于,每一個產品定位孔(2)邊沿的若干產品位置定位柱(3)的高度均相等。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





