[發明專利]晶圓涂覆清洗裝置

在審

• 申請號: 202110856121.6
• 申請日: 2021-07-28
• 公開（公告）號: CN113539907A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 趙裕興;韓秋杰
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/02;B08B5/02;F26B21/00
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.晶圓涂覆清洗裝置，其特征在于，包括水槽組件(1)、旋轉軸組件(2)、涂覆擺臂組件(3)、清洗擺臂組件(4)和吸附載臺(5)，所述旋轉軸組件(2)、涂覆擺臂組件(3)和清洗擺臂組件(4)均安裝在水槽組件(1)上，所述旋轉軸組件(2)位于水槽組件(1)的中間位置，所述涂覆擺臂組件(3)和清洗擺臂組件(4)位于旋轉軸組件(2)的兩側位置，所述旋轉軸組件(2)的頂部安裝有吸附載臺(5)；

所述水槽組件(1)包括固定底座、水槽(8)和升降氣缸(13)，所述水槽(8)通過若干個立柱(7)安裝在固定底座上，所述升降氣缸(13)沿著豎直方向安裝在固定底座上的一側，所述升降氣缸(13)頂部的驅動端與旋轉軸組件(2)在豎直方向上驅動連接設置；

所述旋轉軸組件(2)包括伺服電機(14)、旋轉固定盤(17)和旋轉連接板(19)，所述伺服電機(14)依次通過上方的電機底座和旋轉固定盤(17)與水槽(8)相連接，所述旋轉固定盤(17)內側設置有旋轉軸罩殼(18)，所述伺服電機(14)頂部的驅動軸依次通過第一聯軸器(15)、密封旋轉軸(16)與上方旋轉軸罩殼(18)內側的旋轉連接板(19)驅動連接設置，所述旋轉連接板(19)上設置有吸附載臺(5)；

所述涂覆擺臂組件(3)和清洗擺臂組件(4)的底部均安裝在固定底座上，所述涂覆擺臂組件(3)和清洗擺臂組件(4)的頂部均穿過水槽(8)且位于吸附載臺(5)上的兩側位置。

2.如權利要求1所述的晶圓涂覆清洗裝置，其特征在于，還包括罩殼組件(6)，所述罩殼組件(6)安裝在水槽(8)上，所述罩殼組件(6)包括密封罩殼(41)，所述密封罩殼(41)的頂部開設有開口，所述開口內部可移動的設置有密封卷簾(44)，所述密封罩殼(41)內還設置有卷簾氣缸(45)，所述卷簾氣缸(45)的驅動端與密封卷簾(44)驅動連接設置，所述密封罩殼(41)的外側還設置有第一歧管(42)和第二歧管(43)。

3.如權利要求1所述的晶圓涂覆清洗裝置，其特征在于，所述吸附載臺(5)包括吸附盤(21)和鋼環(24)，所述吸附盤(21)安裝在旋轉連接板(19)上，所述吸附盤(21)的外側設置有鋼環(24)，所述吸附盤(21)通過鋼環卡夾支架(22)和卡夾(23)與鋼環(24)相連接。

4.如權利要求1所述的晶圓涂覆清洗裝置，其特征在于，所述水槽組件(1)還包括導向限位組件，所述導向限位組件包括升降限位塊(10)、直線軸承座(12)和導向軸(20)，所述升降限位塊(10)安裝在固定底座上，所述導向軸(20)通過直線軸承座(12)安裝在旋轉固定盤(17)上，所述導向軸(20)的底部設置有升降限位塊(10)。

5.如權利要求1所述的晶圓涂覆清洗裝置，其特征在于，所述水槽(8)和立柱(7)之間設置有減震器(9)，所述水槽(8)的底部還設置有排水法蘭口(11)。

6.如權利要求1所述的晶圓涂覆清洗裝置，其特征在于，所述涂覆擺臂組件(3)從下往上依次包括步進電機(25)、空心軸(30)、L型接頭(33)和涂覆固定板(35)，所述步進電機(25)與上方的電機固定板(32)相連接，所述步進電機(25)頂部的驅動端依次通過第二聯軸器(26)、連接軸(27)、三通接頭(29)、空心軸(30)和L型接頭(33)與涂覆固定板(35)驅動連接設置，所述涂覆固定板(35)上安裝有涂覆噴嘴(34)，所述第二聯軸器(26)和連接軸(27)之間設置有與電機固定板(32)連接的第一支撐座(28)，所述空心軸(30)通過第二支撐座(31)安裝在電機固定板(32)上。