[發(fā)明專利]一種雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110852844.9
• 申請(qǐng)日: 2021-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN113433070B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 晁陽(yáng)升;王琿榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南奧創(chuàng)普科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/13
• 分類號(hào): G01N21/13;G01N21/95
• 代理公司: 北京易捷勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11613
• 代理人: 張珍珍;李麗敏

1.一種雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備包括底座、上料裝置、取料機(jī)構(gòu)、底面檢測(cè)裝置以及相對(duì)設(shè)置的第一檢測(cè)裝置和第二檢測(cè)裝置；

所述上料裝置設(shè)置于所述底座上，所述上料裝置用于放置多個(gè)芯片，所述上料裝置能夠沿x軸方向運(yùn)動(dòng)；

所述第一檢測(cè)裝置和所述第二檢測(cè)裝置均包括正面檢測(cè)機(jī)構(gòu)、端面檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述端面檢測(cè)機(jī)構(gòu)、所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和所述正面檢測(cè)機(jī)構(gòu)均設(shè)置于所述底座上，所述第一檢測(cè)裝置和所述第二檢測(cè)裝置能夠同步工作以形成兩個(gè)檢測(cè)通道；

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能夠沿x軸和y軸方向運(yùn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上水平設(shè)置有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)能夠以穿過自身對(duì)稱中心的豎直線為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；

所述端面檢測(cè)機(jī)構(gòu)能夠沿z軸方向運(yùn)動(dòng)；

所述取料機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述端面檢測(cè)機(jī)構(gòu)上，所述取料機(jī)構(gòu)均能夠沿x軸、y軸和z軸方向運(yùn)動(dòng)，其中x軸、y軸和z軸中任意兩者相互垂直，所述取料機(jī)構(gòu)用于將所述上料裝置中芯片運(yùn)送至所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上；

所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)能夠疊置于所述正面檢測(cè)機(jī)構(gòu)的正下方；

所述底面檢測(cè)裝置設(shè)置于所述底座上，所述底面檢測(cè)裝置位于所述第一檢測(cè)裝置的所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和所述第二檢測(cè)裝置的所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)之間。

2.如權(quán)利要求1所述的雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括第一旋轉(zhuǎn)安裝架、第二旋轉(zhuǎn)安裝架、第一滑行驅(qū)動(dòng)組件、第二滑行驅(qū)動(dòng)組件以及旋轉(zhuǎn)組件；

所述雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備還包括第一滑行導(dǎo)軌，所述第一滑行導(dǎo)軌沿x軸方向設(shè)置于所述底座上，所述第一旋轉(zhuǎn)安裝架與所述第一滑行導(dǎo)軌滑動(dòng)連接；

所述第二旋轉(zhuǎn)安裝架通過第二滑行導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置于所述第一旋轉(zhuǎn)安裝架上，所述第二滑行導(dǎo)軌與y軸方向平行；

所述第一滑行驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置于所述底座上，所述第二滑行驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置于所述第一旋轉(zhuǎn)安裝架上，所述第一滑行驅(qū)動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)所述第一旋轉(zhuǎn)安裝架沿所述第一滑行導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，所述第二滑行驅(qū)動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)所述第二旋轉(zhuǎn)安裝架沿所述第二滑行導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；

所述旋轉(zhuǎn)組件設(shè)置于所述第二旋轉(zhuǎn)安裝架上，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)水平設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)組件上。

3.如權(quán)利要求2所述的雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)組件包括旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)、旋轉(zhuǎn)機(jī)殼以及旋轉(zhuǎn)內(nèi)軸；

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)殼設(shè)置于所述第二旋轉(zhuǎn)安裝架上，所述旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)殼上；

所述旋轉(zhuǎn)內(nèi)軸與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)殼轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)內(nèi)軸豎直設(shè)置，所述旋轉(zhuǎn)內(nèi)軸與所述旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)軸連接；

所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)水平設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)內(nèi)軸的上端面。

4.如權(quán)利要求3所述的雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上開設(shè)有多個(gè)第一通孔，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)殼上開設(shè)有第二通孔；

所述旋轉(zhuǎn)內(nèi)軸的內(nèi)部設(shè)置有導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管的第一端與所述第一通孔連通，所述導(dǎo)氣管的第二端始終與所述第二通孔連通。

5.如權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述端面檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括端面檢測(cè)相機(jī)以及端面驅(qū)動(dòng)組件；

所述雙通道芯片檢測(cè)設(shè)備還包括端面安裝架，所述端面安裝架設(shè)置于所述底座上；

所述端面檢測(cè)相機(jī)通過端面導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置于所述端面安裝架上，所述端面導(dǎo)軌與z軸方向平行；

所述端面檢測(cè)相機(jī)的水平設(shè)置，且所述第一檢測(cè)裝置的所述端面檢測(cè)相機(jī)與所述第二檢測(cè)裝置的所述端面檢測(cè)相機(jī)的鏡頭相對(duì)；

所述端面驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置于所述端面安裝架，所述端面驅(qū)動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)所述端面檢測(cè)相機(jī)沿所述端面導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。