[發(fā)明專利]一種雙通道芯片檢測設備

有效

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• 申請日: 2021-07-27
• 公開（公告）號: CN113433070B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發(fā)明（設計）人: 晁陽升;王琿榮
• 申請（專利權）人: 湖南奧創(chuàng)普科技有限公司
• 主分類號: G01N21/13
• 分類號: G01N21/13;G01N21/95
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理有限公司 11613
• 代理人: 張珍珍;李麗敏

1.一種雙通道芯片檢測設備，其特征在于，所述雙通道芯片檢測設備包括底座、上料裝置、取料機構、底面檢測裝置以及相對設置的第一檢測裝置和第二檢測裝置；

所述上料裝置設置于所述底座上，所述上料裝置用于放置多個芯片，所述上料裝置能夠沿x軸方向運動；

所述第一檢測裝置和所述第二檢測裝置均包括正面檢測機構、端面檢測機構以及旋轉機構，所述端面檢測機構、所述旋轉機構和所述正面檢測機構均設置于所述底座上，所述第一檢測裝置和所述第二檢測裝置能夠同步工作以形成兩個檢測通道；

所述旋轉機構能夠沿x軸和y軸方向運動，所述旋轉機構上水平設置有旋轉臺，所述旋轉臺能夠以穿過自身對稱中心的豎直線為旋轉軸旋轉；

所述端面檢測機構能夠沿z軸方向運動；

所述取料機構設置于所述端面檢測機構上，所述取料機構均能夠沿x軸、y軸和z軸方向運動，其中x軸、y軸和z軸中任意兩者相互垂直，所述取料機構用于將所述上料裝置中芯片運送至所述旋轉臺上；

所述旋轉臺能夠疊置于所述正面檢測機構的正下方；

所述底面檢測裝置設置于所述底座上，所述底面檢測裝置位于所述第一檢測裝置的所述旋轉機構和所述第二檢測裝置的所述旋轉機構之間。

2.如權利要求1所述的雙通道芯片檢測設備，其特征在于，所述旋轉機構還包括第一旋轉安裝架、第二旋轉安裝架、第一滑行驅動組件、第二滑行驅動組件以及旋轉組件；

所述雙通道芯片檢測設備還包括第一滑行導軌，所述第一滑行導軌沿x軸方向設置于所述底座上，所述第一旋轉安裝架與所述第一滑行導軌滑動連接；

所述第二旋轉安裝架通過第二滑行導軌滑動設置于所述第一旋轉安裝架上，所述第二滑行導軌與y軸方向平行；

所述第一滑行驅動組件設置于所述底座上，所述第二滑行驅動組件設置于所述第一旋轉安裝架上，所述第一滑行驅動組件能夠驅動所述第一旋轉安裝架沿所述第一滑行導軌運動，所述第二滑行驅動組件能夠驅動所述第二旋轉安裝架沿所述第二滑行導軌運動；

所述旋轉組件設置于所述第二旋轉安裝架上，所述旋轉臺水平設置于所述旋轉組件上。

3.如權利要求2所述的雙通道芯片檢測設備，其特征在于，所述旋轉組件包括旋轉伺服電機、旋轉機殼以及旋轉內軸；

所述旋轉機殼設置于所述第二旋轉安裝架上，所述旋轉伺服電機設置于所述旋轉機殼上；

所述旋轉內軸與所述旋轉機殼轉動連接，所述旋轉內軸豎直設置，所述旋轉內軸與所述旋轉伺服電機的轉軸連接；

所述旋轉臺水平設置于所述旋轉內軸的上端面。

4.如權利要求3所述的雙通道芯片檢測設備，其特征在于，所述旋轉臺上開設有多個第一通孔，所述旋轉機殼上開設有第二通孔；

所述旋轉內軸的內部設置有導氣管，所述導氣管的第一端與所述第一通孔連通，所述導氣管的第二端始終與所述第二通孔連通。

5.如權利要求1-4任意一項所述的雙通道芯片檢測設備，其特征在于，所述端面檢測機構包括端面檢測相機以及端面驅動組件；

所述雙通道芯片檢測設備還包括端面安裝架，所述端面安裝架設置于所述底座上；

所述端面檢測相機通過端面導軌滑動設置于所述端面安裝架上，所述端面導軌與z軸方向平行；

所述端面檢測相機的水平設置，且所述第一檢測裝置的所述端面檢測相機與所述第二檢測裝置的所述端面檢測相機的鏡頭相對；

所述端面驅動組件設置于所述端面安裝架，所述端面驅動組件能夠驅動所述端面檢測相機沿所述端面導軌運動。