[發明專利]一種雙通道芯片檢測設備

有效

• 申請號: 202110852844.9
• 申請日: 2021-07-27
• 公開（公告）號: CN113433070B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: 晁陽升;王琿榮
• 申請（專利權）人: 湖南奧創普科技有限公司
• 主分類號: G01N21/13
• 分類號: G01N21/13;G01N21/95
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理有限公司 11613
• 代理人: 張珍珍;李麗敏

本發明涉及一種雙通道芯片檢測設備，其包括底座、上料裝置、底面檢測裝置、取料機構以及相對設置的第一檢測裝置和第二檢測裝置。第一檢測裝置和第二檢測裝置均包括正面檢測機構、端面檢測機構以及旋轉機構，端面檢測機構、旋轉機構和正面檢測機構均安裝在底座上。在第一檢測裝置工作的過程中，第二檢測裝置也在同步工作，第一檢測裝置的動作與第二檢測裝置的動作保持一致，取料上料裝置兩個通道上料，取料機構同時為兩個通道運送待檢測的芯片以及將檢測完成的芯片放回上料裝置內，有效地加快設備的工作節拍，從而提高工作效率效率。芯片檢測通過雙通道芯片檢測設備完成，無需人工參與，有效地提高了芯片檢測的自動化程度，進而提高了工作效率。

技術領域

本發明涉及視覺檢測技術領域，尤其涉及一種雙通道芯片檢測設備。

背景技術

集成電路芯片成品生產后需要對芯片的各個面進行高精度的視覺檢測，確保芯片視覺檢測合格后才能進行后續的檢測以及功能測試，而檢測不合格芯片則進行回收。

現有的芯片檢測過程包括人工檢測和設備檢測，人工檢測是通過勞動密集形工人對芯片逐一通過肉眼進行檢測，這種檢測方式效率低下，檢測誤差大，并且在檢測過程中檢測環境極易對芯片造成污染。設備檢測是通過檢測相機對芯片的一個面進行檢測后，通過人工調整芯片的位置，再進行另一面的檢測?，F有的設備檢測無法與自動上料和下料設備相配合來實現全自動檢測，并且后續包裝等工序也無法同時自動完成，嚴重影響了芯片檢測的整體效率。

發明內容

(一)要解決的技術問題

鑒于現有技術的上述缺點和不足，本發明提供一種雙通道芯片檢測設備，其解決了芯片檢測效率低以及芯片檢測的自動化程度低的技術問題。

(二)技術方案

為了達到上述目的，本發明的雙通道芯片檢測設備包括：

所述雙通道芯片檢測設備包括底座、上料裝置、取料機構、底面檢測裝置以及相對設置的第一檢測裝置和第二檢測裝置；

所述上料裝置設置于所述底座上，所述上料裝置用于放置多個芯片，所述上料裝置能夠沿x軸方向運動；

所述第一檢測裝置和所述第二檢測裝置均包括正面檢測機構、端面檢測機構以及旋轉機構，所述端面檢測機構、所述旋轉機構和所述正面檢測機構均設置于所述底座上；

所述旋轉機構能夠沿x軸和y軸方向運動，所述旋轉機構上水平設置有旋轉臺，所述旋轉臺能夠以穿過自身對稱中心的豎直線為旋轉軸旋轉；

所述端面檢測機構能夠沿z軸方向運動；

所述取料機構設置于所述端面檢測機構上，所述取料機構均能夠沿x軸、y軸和z軸方向運動，其中x軸、y軸和z軸中任意兩者相互垂直，所述取料機構用于將所述上料裝置中芯片運送至所述旋轉臺上；

所述旋轉臺能夠疊置于所述正面檢測機構的正下方；

所述底面檢測裝置設置于所述底座上，所述底面檢測裝置位于所述第一檢測裝置的所述旋轉機構和所述第二檢測裝置的所述旋轉機構之間。

可選地，所述旋轉機構還包括第一旋轉安裝架、第二旋轉安裝架、第一滑行驅動組件、第二滑行驅動組件以及旋轉組件；

所述雙通道芯片檢測設備還包括第一滑行導軌，所述第一滑行導軌沿x軸方向設置于所述底座上，所述第一旋轉安裝架與所述第一滑行導軌滑動連接；

所述第二旋轉安裝架通過第二滑行導軌滑動設置于所述第一旋轉安裝架上，所述第二滑行導軌與y軸方向平行；

所述第一滑行驅動組件設置于所述底座上，所述第二滑行驅動組件設置于所述第一旋轉安裝架上，所述第一滑行驅動組件能夠驅動所述第一旋轉安裝架沿所述第一滑行導軌運動，所述第二滑行驅動組件能夠驅動所述第二旋轉安裝架沿所述第二滑行導軌運動；