[發明專利]一種具有殘古紋效果的真空鍍膜方法

在審

• 申請號: 202110827097.3
• 申請日: 2021-07-21
• 公開（公告）號: CN113549869A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 夏白楊;明松
• 申請（專利權）人: 深圳市智創谷技術有限公司
• 主分類號: C23C14/02
• 分類號: C23C14/02;C23C14/06;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/58;C23C14/34
• 代理公司: 深圳市諾正鑫澤知識產權代理有限公司 44689
• 代理人: 林國友

1.一種具有殘古紋效果的真空鍍膜方法，其特征在于，依次包括以下步驟：

(1)利用合金材料加工成型出零件A；

(2)對零件A進行進行拋光或拉絲工藝處理，得到零件B；

(3)對零件B進行真空碳氫清洗，得到零件C；

(4)將零件C均勻地掛入真空鍍膜機的掛具上；

(5)將攜帶零件C的掛具放入真空鍍膜機內進行加熱100-150℃，抽真空至6.0-8.0E^-3Pa；

(6)向真空鍍膜機內充入氬氣100-200sccm，使真空達到3.0-5.0E^-1Pa，打開偏壓100-150V，用中頻濺射沉積5-10分鐘的純鉻作為底層，底層的厚度50-80nm；

(7)充入100-200sccm氬氣，使真空鍍膜機內真空達到3.0-5.0E^-1Pa，偏壓設定50-100V，用2對中頻濺射10-15分鐘鉻和石墨，電流設定12A，沉積一層過渡層，過渡層的厚度為80-120nm；

(8)充入200-300sccm氬氣，300-400sccm乙炔，使真空鍍膜機內真空達到6.0-7.0E^-1Pa，偏壓設定30-50V，用2對中頻濺射60-80分鐘石墨，電流均設定為25A，沉積一層黑色面層，黑色面層的厚度為500-800nm；

(9)從真空鍍膜機內中將零件C取出，待冷卻后放進裝有陶瓷顆粒的震動研磨桶內進行震動20-40分鐘，此時零件C的表面黑色面層將出現被去除掉10-30％，以此出現殘古紋效果。

2.根據權利要求1所述的具有殘古紋效果的真空鍍膜方法，其特征在于，還包括以下步驟：

(10)將步驟(9)處理后的零件進行真空碳氫清洗后再次裝入掛具中；

(11)將攜帶零件的掛具放入真空鍍膜機內進行加熱100-150℃，抽真空至6.0-8.0E^-3Pa；

(12)充入50-100sccm氬氣，200-300sccm氧氣，使真空鍍膜機內真空達到2.0-3.0E^-1Pa，偏壓設定100-150V，用2對中頻濺射10-20分鐘二氧化硅，電流均設定為20A，沉積一層透明保護面層，透明保護面層的厚度為50-80nm。