[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體晶棒滾磨機(jī)床

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110825306.0
• 申請(qǐng)日: 2021-07-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113370005A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱凱;周江輝;唐學(xué)千;金明來(lái);金敬武;徐杰;王永哲
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大連連城數(shù)控機(jī)器股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B5/04
• 分類(lèi)號(hào): B24B5/04;B24B5/35;B24B41/06;B24B49/04
• 代理公司: 大連東方專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 21212
• 代理人: 李洪福

本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體晶棒滾磨機(jī)床，包括機(jī)床底座、位于機(jī)床底座上方的橫梁、安裝在所述橫梁上的Z軸進(jìn)給滑臺(tái)及驅(qū)動(dòng)Z軸進(jìn)給滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置、安裝在Z軸進(jìn)給滑臺(tái)底部的夾具組、安裝在機(jī)床底座上的上料導(dǎo)軌、安裝在所述上料導(dǎo)軌上的上料輸送滑臺(tái)、檢測(cè)滑臺(tái)和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、安裝在上料輸送滑臺(tái)上的上料定心裝置、安裝在檢測(cè)滑臺(tái)上的毛坯檢測(cè)裝置與X射線(xiàn)晶向檢測(cè)儀、安裝在機(jī)床底座上的晶棒磨削裝置和安裝在晶棒磨削裝置上的加工檢測(cè)裝置。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)加工，機(jī)械上料、機(jī)械檢測(cè)確定磨削次數(shù)，減少了人工操作，增大了工作效率和工作精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅棒加工技術(shù)領(lǐng)域，具體而言是一種半導(dǎo)體晶棒滾磨機(jī)床。

背景技術(shù)

目前市場(chǎng)廣泛應(yīng)用的半導(dǎo)體晶棒滾磨機(jī)，多采用人工上料、裝夾、找正、檢測(cè)等方式進(jìn)行加工。這種人工上下料、人工檢測(cè)確定磨削次數(shù)，單次磨削后人工檢測(cè)尺寸的加工方式，在保證加工質(zhì)量的前提下，加工效率較低。且根據(jù)操作人員的水準(zhǔn)高低，檢測(cè)方法的差異，晶棒加工的一致性較差。

而且現(xiàn)有的滾磨機(jī)床因機(jī)械部件多，而造成占地面積過(guò)大。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)上述技術(shù)問(wèn)題，而提供一種半導(dǎo)體晶棒滾磨機(jī)床。

本發(fā)明采用的技術(shù)手段如下：

一種半導(dǎo)體晶棒滾磨機(jī)床，包括：

機(jī)床底座；

橫梁，其設(shè)置在所述機(jī)床底座的上方，延伸方向與所述機(jī)床底座的長(zhǎng)度方向平行；

Z軸進(jìn)給滑臺(tái)，安裝在所述橫梁上，并與所述橫梁滑動(dòng)連接；

Z軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)裝置，安裝在所述橫梁上，用于驅(qū)動(dòng)所述Z軸進(jìn)給滑臺(tái)沿所述橫梁的延伸方向水平運(yùn)動(dòng)；Z軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)裝置可采用絲杠，絲杠的輸出端與Z軸進(jìn)給滑臺(tái)連接，輸入端與電機(jī)連接；

夾具組，安裝在所述Z軸進(jìn)給滑臺(tái)底部，用于軸向夾持晶棒的兩個(gè)端面，且驅(qū)動(dòng)晶棒圍繞其軸線(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)；

上料導(dǎo)軌組，安裝在所述機(jī)床底座上，且其設(shè)置在所述機(jī)床底座的頭端，延伸方向沿所述機(jī)床底座的寬度方向；

上料輸送滑臺(tái)，安裝在所述上料導(dǎo)軌組上，與所述上料導(dǎo)軌組滑動(dòng)連接；

上料輸送滑臺(tái)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述上料輸送滑臺(tái)沿所述上料導(dǎo)軌組的延伸方向水平運(yùn)動(dòng)；上料輸送滑臺(tái)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可采用絲杠，絲杠的輸出端與上料輸送滑臺(tái)連接，輸入端與電機(jī)連接；

檢測(cè)滑臺(tái)，安裝在所述上料導(dǎo)軌組上，與所述上料導(dǎo)軌組滑動(dòng)連接；

檢測(cè)滑臺(tái)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述檢測(cè)滑臺(tái)沿所述上料導(dǎo)軌組的延伸方向水平運(yùn)動(dòng)；檢測(cè)滑臺(tái)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可采用絲杠，絲杠的輸出端與檢測(cè)滑臺(tái)連接，輸入端與電機(jī)連接；

上料定心裝置，安裝在所述上料輸送滑臺(tái)上，用于徑向夾持晶棒的外壁，并使晶棒的軸線(xiàn)與所述機(jī)床底座的長(zhǎng)度方向平行；

毛坯檢測(cè)裝置，安裝在所述檢測(cè)滑臺(tái)，用于檢測(cè)晶棒的毛坯尺寸和加工余量；

X射線(xiàn)晶向檢測(cè)儀，安裝在所述檢測(cè)滑臺(tái)，用于檢測(cè)晶棒的晶線(xiàn)；

晶棒磨削裝置，安裝在所述機(jī)床底座的側(cè)部，用于磨削晶棒；以及

加工檢測(cè)裝置，安裝在所述晶棒磨削裝置上，用于檢測(cè)晶棒加工后的尺寸。加工檢測(cè)裝置可以采用探針和氣缸的組合，氣缸推動(dòng)探針進(jìn)行伸縮，進(jìn)而探針進(jìn)行檢測(cè)。

優(yōu)選地，所述夾具組包括：

Z軸絲杠，其安裝在所述Z軸進(jìn)給滑臺(tái)上，其輸入端與第一電機(jī)連接；

兩個(gè)夾頭，其中一個(gè)夾頭與所述Z軸絲杠的輸出端連接，另一個(gè)夾頭與所述Z軸進(jìn)給滑臺(tái)固定連接；以及