[發(fā)明專利]一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法

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• 申請日: 2021-07-21
• 公開（公告）號: CN113549878A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林武輝;符堅;薛滿庫;何學(xué)萍
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江海順新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/08
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 張抗震

本公開公開一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法，屬于氧化鋁疏水薄膜生產(chǎn)領(lǐng)域，包括真空室，所述真空室內(nèi)設(shè)有高頻螺旋線圈，所述高頻螺旋線圈中央設(shè)有坩鍋，所述真空室的側(cè)壁設(shè)有上料裝置，所述上料裝置通過對膜材物料進(jìn)行拋射投入坩鍋內(nèi)；通過對膜材物料拋射投入坩鍋內(nèi)的方式進(jìn)行上料，一方面可以取得更好的氣化蒸發(fā)效果且保證生產(chǎn)連續(xù)性，同時可以使上料裝置不在真空室內(nèi)如此保證不會逸出的其它離子引起膜層的污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開屬于氧化鋁疏水薄膜生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法。

背景技術(shù)

薄膜是一種物質(zhì)形態(tài)，它所使用的膜材料非常廣泛，可以是單質(zhì)元素或化合物，也可以是無機材料或有機材料。薄膜與塊狀物質(zhì)一樣，可以是單晶態(tài)的，多晶態(tài)的或非晶態(tài)的。近年來功能材料薄膜和復(fù)合薄膜也有很大發(fā)展。鍍膜技術(shù)及薄膜產(chǎn)品在工業(yè)上的應(yīng)用非常廣泛。鍍膜方法可以分為氣相生成法，氧化法，離子注入法，擴散法，電鍍法，涂布法，液相生長法等。氣相生成法又可分為物理氣相沉積法，化學(xué)氣相沉積法和放電聚合法等。真空蒸發(fā)，濺射鍍膜和離子鍍等通常稱為物理氣相沉積法，是基本的薄膜制備技術(shù)。它們都要求淀積薄膜的空間要有一定的真空度。所以，真空技術(shù)是薄膜制作技術(shù)的基礎(chǔ)，獲得并保持所需的真空環(huán)境，是鍍膜的必要條件。真空系統(tǒng)的種類繁多。在實際工作中，必須根據(jù)自己的工作重點進(jìn)行選擇。典型的真空系統(tǒng)包括：獲得真空的設(shè)備(真空泵)，待抽空的容器(真空室)，測量真空的器具(真空計)以及必要的管道，閥門和其它附屬設(shè)備。真空蒸發(fā)鍍膜法包括一下幾種鍍膜方式：電阻蒸發(fā)源蒸鍍法、電子束蒸發(fā)源蒸鍍法、高頻感應(yīng)蒸發(fā)源蒸鍍法和激光束蒸發(fā)源蒸鍍法；所述高頻感應(yīng)蒸發(fā)源蒸鍍法，高頻感應(yīng)蒸發(fā)源是將裝有蒸發(fā)材料的石墨或陶瓷坩鍋放在水冷的高頻螺旋線圈中央，使蒸發(fā)材料在高頻帶內(nèi)磁場的感應(yīng)下產(chǎn)生強大的渦流損失和磁滯損失(對鐵磁體)，致使蒸發(fā)材料升溫，直至氣化蒸發(fā)。膜材的體積越小，感應(yīng)的頻率就越高。在鋼帶上連續(xù)真空鍍鋁的大型設(shè)備中，高頻感應(yīng)加熱蒸鍍工藝已經(jīng)取得令人滿意的結(jié)果，為了取得更好的氣化蒸發(fā)效果需要保證膜材的體積的大小適中，如此為了保證生產(chǎn)的連續(xù)性就需要自動添料裝置，并且要保證添料裝置不會逸出的其它離子引起膜層的污染。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本公開的目的在于提供一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中高頻感應(yīng)蒸發(fā)源蒸鍍法的膜材更換會導(dǎo)致生產(chǎn)中斷的問題。

本公開的目的可以通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置，包括真空室，所述真空室內(nèi)設(shè)有高頻螺旋線圈，所述高頻螺旋線圈中央設(shè)有坩鍋，所述真空室的側(cè)壁設(shè)有上料裝置，所述上料裝置通過對膜材物料進(jìn)行拋射投入坩鍋內(nèi)。

進(jìn)一步地，所述上料裝置包括真空箱，真空箱內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)盤外設(shè)有弧形通道，所述弧形通道一端設(shè)連接有導(dǎo)向料管，導(dǎo)向料管與真空室內(nèi)部相互連通，弧形通道內(nèi)側(cè)開設(shè)有第一環(huán)槽，轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)盤的側(cè)面設(shè)有第一推動葉片，第一推動葉片穿過第一環(huán)槽后活動安裝在弧形通道內(nèi)，所述弧形通道上連接有進(jìn)料管。

進(jìn)一步地，所述進(jìn)料管上設(shè)有投料模塊，所述投料模塊包括隔斷塊和真空管，所述隔斷塊開設(shè)有第一過料孔，第一過料孔下端連接在進(jìn)料管上，第一過料孔上端連接有真空管，第一過料孔的側(cè)面開設(shè)有第一滑槽，第一滑槽內(nèi)設(shè)有活動的第一滑塊，第一滑塊的側(cè)面比第一過料孔的直徑大，第一滑塊上開設(shè)有第一通孔，所述真空管上方設(shè)有可以開閉的上蓋，所述真空管的側(cè)面開設(shè)有與第二過料孔相互連通的抽真空小孔，抽真空小孔與真空箱外的抽真空泵相互連通。

進(jìn)一步地，所述真空管的側(cè)面設(shè)有第一橫柱，第一橫柱上開設(shè)有第一安裝孔，第一安裝孔內(nèi)活動安裝有第二滑塊，第二滑塊與第一安裝孔底面之間設(shè)有第一彈簧，第一安裝孔與第二過料孔之間通過第一通孔相互連通；

所述第一橫柱上開設(shè)有第一讓位槽，第二滑塊遠(yuǎn)離第一通孔的一端設(shè)有第一安裝板，第一安裝板活動安裝在第一讓位槽內(nèi)，第一滑塊遠(yuǎn)離第一過料孔的一端設(shè)有第二安裝板，第二安裝板與第一安裝板之間設(shè)有第二彈簧；