[發(fā)明專利]一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110824721.4 | 申請日: | 2021-07-21 |
| 公開(公告)號: | CN113549878A | 公開(公告)日: | 2021-10-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 林武輝;符堅(jiān);薛滿庫;何學(xué)萍 | 申請(專利權(quán))人: | 浙江海順新材料有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/26 | 分類號: | C23C14/26;C23C14/08 |
| 代理公司: | 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 張抗震 |
| 地址: | 314009 浙江省湖*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 氧化鋁 疏水 薄膜 生產(chǎn) 裝置 及其 方法 | ||
1.一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置,包括真空室(1),其特征在于,所述真空室(1)內(nèi)設(shè)有高頻螺旋線圈(3),所述高頻螺旋線圈(3)中央設(shè)有坩鍋(2),所述真空室(1)的側(cè)壁設(shè)有上料裝置(4),所述上料裝置(4)通過對膜材物料進(jìn)行拋射投入坩鍋(2)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置,其特征在于,所述上料裝置(4)包括真空箱(41),真空箱(41)內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)盤(6),所述旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)盤(6)外設(shè)有弧形通道(9),所述弧形通道(9)一端設(shè)連接有導(dǎo)向料管(91),導(dǎo)向料管(91)與真空室(1)內(nèi)部相互連通,弧形通道(9)內(nèi)側(cè)開設(shè)有第一環(huán)槽(93),轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)盤(6)的側(cè)面設(shè)有第一推動葉片(63),第一推動葉片(63)穿過第一環(huán)槽(93)后活動安裝在弧形通道(9)內(nèi),所述弧形通道(9)上連接有進(jìn)料管(94)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置,其特征在于,所述進(jìn)料管(94)上設(shè)有投料模塊(5),所述投料模塊(5)包括隔斷塊(51)和真空管(52),所述隔斷塊(51)開設(shè)有第一過料孔(511),第一過料孔(511)下端連接在進(jìn)料管(94)上,第一過料孔(511)上端連接有真空管(52),第一過料孔(511)的側(cè)面開設(shè)有第一滑槽(512),第一滑槽(512)內(nèi)設(shè)有活動的第一滑塊(531),第一滑塊(531)的側(cè)面比第一過料孔(511)的直徑大,第一滑塊(531)上開設(shè)有第一通孔(533),所述真空管(52)上方設(shè)有可以開閉的上蓋,所述真空管(52)的側(cè)面開設(shè)有與第二過料孔(521)相互連通的抽真空小孔(522),抽真空小孔(522)與真空箱(41)外的抽真空泵相互連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置,其特征在于,所述真空管(52)的側(cè)面設(shè)有第一橫柱(523),第一橫柱(523)上開設(shè)有第一安裝孔(525),第一安裝孔(525)內(nèi)活動安裝有第二滑塊(56),第二滑塊(56)與第一安裝孔(525)底面之間設(shè)有第一彈簧(562),第一安裝孔(525)與第二過料孔(521)之間通過第一通孔(524)相互連通;
所述第一橫柱(523)上開設(shè)有第一讓位槽(527),第二滑塊(56)遠(yuǎn)離第一通孔(524)的一端設(shè)有第一安裝板(561),第一安裝板(561)活動安裝在第一讓位槽(527)內(nèi),第一滑塊(531)遠(yuǎn)離第一過料孔(511)的一端設(shè)有第二安裝板(535),第二安裝板(535)與第一安裝板(561)之間設(shè)有第二彈簧(536);
所述第一滑塊(531)上設(shè)有阻擋橫梁(534),第一橫柱(523)上開設(shè)有第二讓位槽(526),第二滑塊(56)遠(yuǎn)離第一通孔(524)的一端設(shè)有第一連接板(563),第一連接板(563)活動安裝在第二讓位槽(526)內(nèi),第一橫柱(523)的側(cè)面上設(shè)有活動的第一抵觸塊(54),第一抵觸塊(54)固定安裝在第一連接板(563)上,第一抵觸塊(54)下方設(shè)有第一自鎖模塊(8),第一自鎖模塊(8)通過抵觸阻擋橫梁(534)完成第一滑塊(531)的自鎖,第一自鎖模塊(8)與第一抵觸塊(54)相互作用,當(dāng)?shù)谝坏钟|塊(54)運(yùn)動到一定位置時(shí)第一自鎖模塊(8)解除對第一滑塊(531)的自鎖,所述真空箱(41)設(shè)有隔斷保證弧形通道(9)處于真空環(huán)境。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置,其特征在于,所述第一滑塊(531)與第一滑槽(512)之間設(shè)有第三彈簧(532)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種氧化鋁疏水薄膜的生產(chǎn)裝置,其特征在于,所述第一自鎖模塊(8)包括第一立柱(80),第一立柱(80)上開設(shè)有第二通孔(81),第二通孔(81)上開設(shè)有第三安裝孔(82),第三安裝孔(82)內(nèi)活動安裝有第三滑塊(83),第三滑塊(83)上設(shè)有穿過第二通孔(81)的第一抵觸桿(84),第三滑塊(83)與第三安裝孔(82)之間設(shè)有第四彈簧(85),第三滑塊(83)一端抵觸在第一抵觸塊(54)上,第一抵觸塊(54)與第三滑塊(83)的抵觸面開設(shè)有第一斜槽(541),第一抵觸桿(84)的側(cè)面與阻擋橫梁(534)側(cè)面相互抵觸。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
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