[發明專利]一種石英晶振片研磨架

有效

• 申請號: 202110816286.0
• 申請日: 2021-07-20
• 公開（公告）號: CN113400186B
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發明（設計）人: 楊燕旋;楊麗旋
• 申請（專利權）人: 深圳市科源信科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B27/00
• 代理公司: 深圳市鼎智專利代理事務所(普通合伙) 44411
• 代理人: 黃曉玲

1.一種石英晶振片研磨架，其特征在于，包括工作臺，所述工作臺上設置有數個與工作臺軸承設置的研磨盤，所述工作臺在所述研磨盤的周側設置有環形導液部，所述環形導液部具有沿所述研磨盤周側設置的導液槽以及一個由環形板蓋蓋合形成環向進液的流道腔，所述導液槽上設置有數個與所述流道腔連通的出液孔，所述環形導液部外壁上設置有與所述流道腔連通的導液接口；所述研磨盤具有一個負壓室以及具有與負壓室連通的吸附孔，所述研磨盤的背側設置有帶動所述研磨盤轉動的桿軸，所述桿軸具有貫通的氣道孔，所述氣道孔的一端與所述負壓室連通，另一端用于與外部氣源裝置連接；所述工作臺的圓心位置固連有一氣盤以及與氣盤連通的立桿，所述氣盤具有朝所述研磨盤方向設置的延伸部，所述延伸部上設置有數個氣孔，所述工作臺對應所述延伸部的延伸方向開設有與所述導液槽連通的氣道槽；所述立桿外壁設置有用于連接外部氣源裝置的氣管接口，所述立桿的末端設置有安裝板，所述桿軸穿設所述安裝板，在安裝板的背側設置有驅動所述桿軸轉動的齒輪，所述安裝板的中部通過軸承設置旋轉軸，所述旋轉軸的外壁設置有與所述齒輪嚙合的齒輪部件。

2.根據權利要求1所述的一種石英晶振片研磨架，其特征在于，所述桿軸外壁具有臺階部和套設有彈簧，所述彈簧限制在所述研磨盤與所述臺階部之間，且所述研磨盤與所述桿軸之間滑動設置。

3.根據權利要求1所述的一種石英晶振片研磨架，其特征在于，所述研磨盤的吸附面沿圓心方向向外均勻設置有數個環狀凸起，相鄰的兩環狀凸起之間形成了環形負壓槽，所述吸附孔均勻的設置在所述環形負壓槽上。

4.根據權利要求3所述的一種石英晶振片研磨架，其特征在于，所述研磨盤與所述工作臺之間設置有滾珠軸承，所述研磨盤外壁設置有容納所述滾珠軸承設置的容納槽。

5.根據權利要求1所述的一種石英晶振片研磨架，其特征在于，所述研磨盤的吸附面伸出所述工作臺。

6.根據權利要求1所述的一種石英晶振片研磨架，其特征在于，所述氣道槽從所述工作臺的圓心朝所述導液槽逐漸增大。

7.根據權利要求1所述的一種石英晶振片研磨架，其特征在于，所述研磨盤包括研磨盤外殼和研磨盤吸附蓋，所述研磨盤外殼和研磨盤吸附蓋螺紋連接形成所述負壓室。

8.根據權利要求7所述的一種石英晶振片研磨架，其特征在于，所述研磨盤吸附蓋的內壁設置有防塵網。

9.根據權利要求1-8任一項所述的一種石英晶振片研磨架，其特征在于，所述工作臺為圓形結構。