[發明專利]晶圓刷洗機

在審

• 申請號: 202110814165.2
• 申請日: 2021-07-19
• 公開（公告）號: CN113369229A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 康雷雷;孫華麗
• 申請（專利權）人: 蘇州泰匯創自動化科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;F26B5/08;H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州謹和知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32295
• 代理人: 徐磊

1.一種晶圓刷洗機，其特征在于，包括架體及設置在架體上的清洗機構，其中，所述清洗機構包括：

清洗槽，包括清洗臺；

夾持升降單元，設置在所述清洗槽內且可相對于所述清洗槽升降，用以將目標物進行夾持固定；

清洗單元，設置在所述清洗槽的一側，用以對所述目標物的表面進行清洗；以及

翻轉單元，設置在所述清洗槽的一側，用以將所述目標物夾持并翻轉；

其中，所述夾持升降單元包括與所述清洗臺連接的升降桿及與與所述清洗臺連接的夾持件，所述夾持件上設置有與所述目標物進行卡合的凹槽。

2.如權利要求1所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述凹槽上設置有接觸面，所述接觸面與所述晶圓表面接觸。

3.如權利要求1所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述翻轉單元包括與電機連接的卡持臂和用以卡持所述目標物的卡持部，所述卡持部設置在所述卡持臂上。

4.如權利要求1所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述清洗單元包括用以對所述目標物進行清洗的清洗件，所述清洗件包括用以提供噴洗液體的氣體管道和液體管道、以及與所述氣體管道、液體管道連通的噴嘴。

5.如權利要求4所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述噴嘴包括噴嘴內芯和套設于所述噴嘴內芯外側的噴嘴外殼，所述噴嘴內芯上開設有通道，所述噴嘴內芯與所述噴嘴外殼之間形成有環形腔，所述通道與所述液體管道和氣體通道中的一個連通，所述環形腔與所述液體管道和氣體管道中的另一個連通。

6.如權利要求1所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述晶圓刷洗機還包括上料機構和下料機構，所述上料機構用以為所述清洗機構提供所述目標物，所述下料機構用以放置清洗完成后的所述目標物。

7.如權利要求6所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述上料機構包括用以放置若干所述目標物的平臺、設置在所述平臺一側的噴淋單元，所述噴淋單元對所述平臺上的若干所述目標物濕潤。

8.如權利要求7所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述上料機構還包括傳感器，所述傳感器用以確定所述目標物的位置。

9.如權利要求8所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述晶圓刷洗機還包括傳送機構，所述傳送機構用以傳送所述目標物。

10.如權利要求9所述的晶圓刷洗機，其特征在于，所述傳送機構包括設置在所述上料機構與所述清洗機構之間的第一傳送機構和設置在所述清洗機構與所述下料機構之間的第二傳送機構，所述第一傳送機構將與所述傳感器確定后的目標物傳送至所述清洗機構，所述第二傳送機構用以將所述清洗機構清洗后的所述目標物傳送至所述下料機構。