[發明專利]一種可改善表面光潔度的低共熔離子液體電沉積銅涂層的制備方法

有效

• 申請號: 202110793716.1
• 申請日: 2021-07-14
• 公開（公告）號: CN113502515B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 江凡;匡一龍;朱天麒;吳紅艷;楊欣燁;劉戰輝
• 申請（專利權）人: 南京信息工程大學
• 主分類號: C25D3/66
• 分類號: C25D3/66;C25D15/00
• 代理公司: 南京鐘山專利代理有限公司 32252
• 代理人: 王楠

1.一種可改善表面光潔度的低共熔離子液體電沉積銅涂層的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、電解液的配置：將氯化膽堿、乙二醇和氯化銅混合均勻并加熱到70～80℃，恒溫攪拌直到固體全部溶解，生成棕色粘稠的液體，得到電解液，向電解液中加入一定量的水楊酸；

S2、連接電極：在S1所制備的電解液中，銅片作為可溶性陽極，銅塊作為陰極，陽極和陰極間距離為4cm；

S3、電沉積：將電極浸入上述加入水楊酸的電解液后與電源連接，進行恒電流電沉積；

S4、取出樣品：電沉積后，取出樣品，并將樣品清洗、吹干；

S1中，氯化膽堿、乙二醇和氯化銅的混合摩爾比例為20:40:1；

S1中，加入水楊酸后，水楊酸在電解液中的濃度為0.01-0.03mol/L。

2.根據權利要求1所述的可改善表面光潔度的低共熔離子液體電沉積銅涂層的制備方法，其特征在于，S2中，陽極和陰極在連接前進行電極前處理，具體為將銅片和銅塊經過1000#、1500#、2000#的SiC砂紙機械打磨后，乙醇超聲清洗30分鐘后水洗，然后10％鹽酸溶液酸洗30s后水洗，吹干備用。

3.根據權利要求1所述的可改善表面光潔度的低共熔離子液體電沉積銅涂層的制備方法，其特征在于，S3中，恒電流密度為5-10mA/cm²，電沉積溫度為60-70℃，電沉積時間為6-10分鐘。

4.根據權利要求1所述的可改善表面光潔度的低共熔離子液體電沉積銅涂層的制備方法，其特征在于，S3中，恒電流密度為5mA/cm²，電沉積溫度為70℃，電沉積時間為10分鐘。

5.根據權利要求1所述的可改善表面光潔度的低共熔離子液體電沉積銅涂層的制備方法，其特征在于，S4中，將電沉積后的樣品依次在酒精、去離子水中超聲清洗10min，吹干。