[發明專利]金屬工件表面光澤度的控制方法及金屬薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 202110790618.2
• 申請日: 2021-07-13
• 公開（公告）號: CN113529087B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 鄔登輝
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01N21/57
• 分類號: G01N21/57;C23F3/00;G01R27/02
• 代理公司: 北京名華博信知識產權代理有限公司 11453
• 代理人: 韓閃閃

1.一種金屬工件表面光澤度的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：

提供金屬工件；

檢測所述金屬工件的表面光澤度，得到第一檢測值；

當所述第一檢測值小于等于第一閾值時，采用第一處理工藝對所述金屬工件進行處理，使所述金屬工件的表面光澤度不小于第二閾值；

當所述第一檢測值大于第一閾值且小于第二閾值時，采用第二處理工藝對所述金屬工件進行處理，使所述金屬工件的表面光澤度不小于第二閾值；

當所述第一檢測值大于等于第二閾值時，對所述金屬工件不進行處理，使所述金屬工件的表面光澤度不小于第二閾值；

其中，所述采用第一處理工藝對所述金屬工件進行處理的方法包括：

將所述金屬工件先置于第一酸液中處理15~25min，取出后置于第一堿液中處理20~40min，然后取出置于第二酸液中處理5~15s；

檢測經過處理的金屬工件的表面光澤度，得到第二檢測值；

如果第二檢測值小于第二閾值，將經過處理的金屬工件再置于所述第二酸液中處理5~15s，然后檢測新處理的金屬工件的表面光澤度，將新得到的表面光澤度數值取代之前的第二檢測值，作為第二檢測值，直到第二檢測值不小于第二閾值；

所述采用第二處理工藝對所述金屬工件進行處理的方法包括：

將所述金屬工件先置于第二堿液中處理40~60min，取出后置于第三酸液中處理5~15s；

檢測經過處理的金屬工件的表面光澤度，得到第三檢測值；

如果第三檢測值小于第二閾值，將經過處理的金屬工件再置于所述第三酸液中處理5~15s，然后檢測新處理的金屬工件的表面光澤度，將新得到的表面光澤度數值取代之前的第三檢測值，作為第三檢測值，直到第三檢測值不小于第二閾值；

所述第一閾值為0~200GU；所述第二閾值為150~500GU；且所述第一閾值小于所述第二閾值。

2.根據權利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述檢測所述金屬工件的表面光澤度，得到第一檢測值，包括：

對所述金屬工件的多個表面區域進行光澤度檢測，得到多個光澤度檢測值，根據所述多個光澤度檢測值得到光澤度平均檢測值，將所述光澤度平均檢測值作為所述第一檢測值。

3.根據權利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述檢測所述金屬工件的表面光澤度，得到第一檢測值，包括：

對所述金屬工件的多個表面區域進行光澤度檢測，得到多個光澤度檢測值，通過比較多個光澤度檢測值的大小得到光澤度最小檢測值，將所述光澤度最小檢測值作為所述第一檢測值。

4.根據權利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述第一酸液為鹽酸、硝酸、醋酸中的一種或多種；所述第一堿液為氫氧化鈉溶液；所述第二酸液為鹽酸、硝酸、醋酸中的一種或多種。

5.根據權利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述第二堿液為碳酸鈉溶液；所述第三酸液為鹽酸、硝酸、醋酸中的一種或多種。

6.根據權利要求1所述的控制方法，其特征在于，在使所述金屬工件的表面光澤度不小于第二閾值之后，還包括：

檢測所述金屬工件表面不同區域的光澤度，得到多個第四檢測值，任意兩個所述第四檢測值的差值小于20GU。

7.一種金屬工件，采用權利要求1~6任一所述的控制方法形成，其特征在于，所述金屬工件的表面光澤度不小于第二閾值。

8.根據權利要求7所述的金屬工件，其特征在于，所述第二閾值為150~500GU。

9.根據權利要求7所述的金屬工件，其特征在于，所述金屬工件中，任意兩個表面區域的光澤度的差值小于20GU。