[發明專利]減少開裂的旋轉靶材綁定方法在審
| 申請號： | 202110790276.4 | 申請日： | 2021-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN113684459A | 公開（公告）日： | 2021-11-23 |
| 發明（設計）人： | 馬建保;盛明亮;陳亮;王振宏 | 申請（專利權）人： | 蕪湖映日科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京正聯知識產權代理有限公司 32243 | 代理人： | 楊靜 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪湖市中國(安徽)自*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 減少 開裂 旋轉 綁定 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種減少開裂的旋轉靶材綁定方法，其特征在于：包括有：
首先依次分別對背管外表面和ITO靶筒內表面進行金屬化；再將背管ITO靶筒組裝在一起；
將組裝好的靶材呈豎直狀態裝于綁定爐內采用灌銦進行升溫綁定：綁定爐內從上到下分布有加熱器，多個加熱器加熱控制綁定爐從上到下的溫度，綁定前背管內從上到下的溫度最大與最小值溫差≤3℃，升溫綁定時綁定爐內從上到下的溫度最大與最小值溫差≤8℃，升溫綁定時背管內從上到下的溫度最大與最小值溫差≤5℃；
綁定完成后進行降溫。
2.如權利要求1所述減少開裂的旋轉靶材綁定方法，其特征在于：所述綁定爐內從上到下安裝多個熱偶，以及在綁定爐內位于背管內從上到下安裝多個熱偶進行多點測溫。
3.如權利要求1所述減少開裂的旋轉靶材綁定方法，其特征在于：所述背管外表面金屬化為：將熔融狀態的銦均勻涂于加熱的背管表面，背管內插入加熱管進行加熱；
ITO靶筒內表面進行金屬化為：采用熔融狀態的銦均勻涂于加熱ITO靶筒內表面，再采用加熱爐加熱。
4.如權利要求1所述減少開裂的旋轉靶材綁定方法，其特征在于：所述背管與ITO靶筒之間通過灌銦進行焊接綁定，背管內最低溫度≥165℃。
5.如權利要求1所述減少開裂的旋轉靶材綁定方法，其特征在于：綁定現場的環境溫度為25-30℃，相對濕度≤80%。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蕪湖映日科技股份有限公司，未經蕪湖映日科技股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110790276.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
