[發明專利]一種半導體元件抽樣檢測裝置

在審

• 申請號: 202110784345.0
• 申請日: 2021-07-12
• 公開（公告）號: CN113465678A
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 周海生;蔣振榮
• 申請（專利權）人: 安徽富信半導體科技有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 合肥正則元起專利代理事務所(普通合伙) 34160
• 代理人: 匡立嶺

本發明公開了一種半導體元件抽樣檢測裝置，包含處理器、運輸抽樣模塊、采集模塊、處理計算模塊、分析匹配模塊和標記提示模塊；所述運輸抽樣模塊用于將半導體元件進行運輸并隨機抽樣，得到抽樣半導體元件；所述采集模塊用于采集抽樣半導體元件的生產信息和檢測信息；所述處理計算模塊用于對生產信息和檢測信息進行清洗處理；對清洗處理后的各項數據進行計算，得到檢分值；所述分析匹配模塊用于根據檢分值對抽樣半導體元件進行匹配分析，得到分析數據；本發明解決了現有方案中不能根據不同類型半導體元件對檢測環境進行動態調整，導致半導體元件的檢測效果不佳的技術問題。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種半導體元件抽樣檢測裝置。

背景技術

半導體元件的導電性介于良導電體與絕緣體之間，利用半導體材料的特殊電特性來完成特定功能，可用來產生、控制、接收、變換、放大信號和能量轉換；半導體元件可應用于整流器、振蕩器、發光器、放大器和測光器等器材。

現有的半導體元件在抽樣檢測時，不能根據不同類型半導體元件對檢測環境進行動態調整，導致半導體元件的檢測效果不佳。

發明內容

本發明的目的在于提供一種半導體元件抽樣檢測裝置，其主要目的在于解決現有方案中不能根據不同類型半導體元件對檢測環境進行動態調整，導致半導體元件的檢測效果不佳的技術問題。

本發明的目的可以通過以下技術方案實現：

一種半導體元件抽樣檢測裝置，包含處理器、運輸抽樣模塊、采集模塊、處理計算模塊、分析匹配模塊和標記提示模塊；

所述運輸抽樣模塊用于將半導體元件進行運輸并隨機抽樣，得到抽樣半導體元件；

所述采集模塊用于采集抽樣半導體元件的生產信息和檢測信息，該生產信息包含類型數據、尺寸數據和顏色數據；該檢測信息包含光波數據和波長數據；

所述處理計算模塊用于對生產信息和檢測信息進行清洗處理，得到類型處理數據、尺寸處理數據、顏色處理數據和加工處理數據以及光波處理數據和波長處理數據；對清洗處理后的各項數據進行計算，得到檢分值；

所述分析匹配模塊用于根據檢分值對抽樣半導體元件進行匹配分析，得到分析數據；

所述標記提示模塊根據分析數據對抽樣半導體元件進行標記和提示；所述處理器用于對各個模塊中的數據計算進行處理。

進一步地，所述處理計算模塊用于對生產信息和檢測信息進行清洗處理的具體步驟為：

接收生產信息并獲取類型數據、尺寸數據和顏色數據；對類型數據中抽樣半導體元件的類型進行標記并獲取對應的類型預設值；對尺寸數據中抽樣半導體元件的長度、寬度和高度分別進行取值和標記；對顏色數據中的顏色值和顏色分布面積分別進行標記；

接收檢測信息并獲取光波數據和波長數據；對光波數據中的光波類型進行標記并獲取對應的光波預設值；對波長數據中的波長進行取值并進行標記。

進一步地，對清洗處理后的各項數據進行計算的具體步驟為：

對清洗處理后的各項數據進行歸一化處理并取值，利用公式計算得到顏色系數；其中，YSXi表示為顏色系數，a1和a2表示為不同的比例系數且均大于零，YZi表示為顏色數據中的顏色值，YMi表示為顏色數據中的顏色分布面積，i＝1，2，3...n；

利用公式計算得到檢分值；其中，JFi表示為檢分值，b1、b2和b3表示為不同的比例系數且均大于零，LYi表示為抽樣半導體元件類型對應的類型預設值，CDi表示為抽樣半導體元件的長度，KDi表示為抽樣半導體元件的寬度，GDi表示為抽樣半導體元件的高度，GYi表示為光波類型對應的光波預設值，BCi表示為波長數據中的波長，i＝1，2，3...n。