[發明專利]一種半導體元件抽樣檢測裝置

在審

• 申請號: 202110784345.0
• 申請日: 2021-07-12
• 公開（公告）號: CN113465678A
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 周海生;蔣振榮
• 申請（專利權）人: 安徽富信半導體科技有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 合肥正則元起專利代理事務所(普通合伙) 34160
• 代理人: 匡立嶺

1.一種半導體元件抽樣檢測裝置，其特征在于，包含處理器、運輸抽樣模塊、采集模塊、處理計算模塊、分析匹配模塊和標記提示模塊；

所述運輸抽樣模塊用于將半導體元件進行運輸并隨機抽樣，得到抽樣半導體元件；

所述采集模塊用于采集抽樣半導體元件的生產信息和檢測信息，該生產信息包含類型數據、尺寸數據和顏色數據；該檢測信息包含光波數據和波長數據；

所述處理計算模塊用于對生產信息和檢測信息進行清洗處理，得到類型處理數據、尺寸處理數據、顏色處理數據和加工處理數據以及光波處理數據和波長處理數據；對清洗處理后的各項數據進行計算，得到檢分值；

所述分析匹配模塊用于根據檢分值對抽樣半導體元件進行匹配分析，得到分析數據；

所述標記提示模塊根據分析數據對抽樣半導體元件進行標記和提示；所述處理器用于對各個模塊中的數據計算進行處理。

2.根據權利要求1所述的一種半導體元件抽樣檢測裝置，其特征在于，所述處理計算模塊用于對生產信息和檢測信息進行清洗處理的具體步驟為：

接收生產信息并獲取類型數據、尺寸數據和顏色數據；對類型數據中抽樣半導體元件的類型進行標記并獲取對應的類型預設值；對尺寸數據中抽樣半導體元件的長度、寬度和高度分別進行取值和標記；對顏色數據中的顏色值和顏色分布面積分別進行標記；

接收檢測信息并獲取光波數據和波長數據；對光波數據中的光波類型進行標記并獲取對應的光波預設值；對波長數據中的波長進行取值并進行標記。

3.根據權利要求1所述的一種半導體元件抽樣檢測裝置，其特征在于，對清洗處理后的各項數據進行計算的具體步驟為：

利用公式計算得到顏色系數；其中，YSXi表示為顏色系數，a1和a2表示為不同的比例系數且均大于零，YZi表示為顏色數據中的顏色值，YMi表示為顏色數據中的顏色分布面積，i＝1，2，3...n；

利用公式計算得到檢分值；其中，JFi表示為檢分值，b1、b2和b3表示為不同的比例系數且均大于零，LYi表示為抽樣半導體元件類型對應的類型預設值，CDi表示為抽樣半導體元件的長度，KDi表示為抽樣半導體元件的寬度，GDi表示為抽樣半導體元件的高度，GYi表示為光波類型對應的光波預設值，BCi表示為波長數據中的波長，i＝1，2，3...n。

4.根據權利要求1所述的一種半導體元件抽樣檢測裝置，其特征在于，所述分析匹配模塊用于根據檢分值對抽樣半導體元件進行匹配分析的具體步驟為：

將檢分值預設的檢測閾值進行匹配，若檢分值不大于檢測閾值，則生成第一分析信號；若檢分值大于檢測閾值，則生成第二分析信號，并將第二分析信號對應的檢分值標記為選中檢分值；

根據第二分析信號計算選中檢分值與檢測閾值之間的比值，獲取該比值的整數部分并進行分析，若該整數部分不大于k，則生成第一匹配信號；若該整數部分大于k，則生成第二匹配信號；其中，k為非零的自然數。