[發明專利]層疊成型加壓裝置、層疊成型系統和層疊成型方法

在審

• 申請號: 202110778254.6
• 申請日: 2021-07-09
• 公開（公告）號: CN114193899A
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發明（設計）人: 山本隆幸
• 申請（專利權）人: 株式會社日本制鋼所
• 主分類號: B32B37/10
• 分類號: B32B37/10;B32B38/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 陳彥;張默

課題在于提供能夠對精度高的層疊成型品進行層疊成型、或在使用無機材料的含有率多的層疊膜的層疊成型品的層疊成型中也能夠良好地層疊成型的層疊成型加壓裝置和層疊成型系統以及層疊成型方法。解決手段為一種在上盤(312)與下盤(314)之間對具備凹凸部(A1a)的被層疊材(A1)和層疊膜(A2)進行加壓成型的層疊成型加壓裝置(3)，其中，在安裝于前述上盤(312)或下盤(314)中的至少一個盤(312)、(314)的加壓塊(317)、(318)上，隔著工程塑料或熱固性樹脂的樹脂膜(321)具備構成加壓面(322a)、(325a)的金屬薄板(322)、(32)，前述樹脂膜(321)的樹脂使用聚酰亞胺等。

技術領域

本發明涉及在上盤與下盤之間對具備凹凸部的被層疊材和層疊膜進行加壓成型的層疊成型加壓裝置、層疊成型系統和層疊成型方法。

背景技術

作為在上盤與下盤之間對具備凹凸部的被層疊材和層疊膜進行加壓成型的層疊成型加壓裝置，已知有專利文獻1至專利文獻4中記載的裝置。專利文獻1在真空層疊裝置的后續工序中具備作為層疊成型加壓裝置的平坦化加壓機。而且平坦化加壓中，作為加壓塊的研磨板的表面粘貼有例如具有厚度1.5mm左右的由橡膠等構成的緩沖材，緩沖材的表面粘貼有厚度2mm左右的由不銹鋼等構成的可彈性變形的鏡面板。而且記載了成型時構成成型面的鏡面板以下述方式進行作用：根據最初制品表面的凹凸發生彈性變形，然后由于緩沖材的彈性變形和鏡面板的彈性變形，慢慢恢復為原本的平面。

此外，專利文獻2與專利文獻1同樣地對在真空層疊裝置的后續工序中作為層疊成型加壓裝置的平面加壓裝置進行了記載，并且在平面加壓中的加壓塊的表面依次配置有緩沖材和撓性金屬板這一方面也是共通的。此外，專利文獻2中，關于緩沖材的材質，記載了氟系橡膠是特別優選的，但記載了也可以使用紙、塑料。

進一步，專利文獻3記載了，在進行一次成型的真空層疊裝置和進行二次成型的平面加壓裝置雙方中，分別在熱盤的膜狀樹脂材側的各個面隔著緩沖材設置金屬板狀體，膜狀樹脂材的表面與該板狀體抵接，將對其進行加壓的彈性加壓板粘接固定。而且，說明書第(0031)段記載了優選設置具有橡膠彈性等的緩沖材。

進一步，專利文獻4中還記載了由第一真空加壓裝置和第二真空加壓裝置構成的真空加壓設備，記載了第一真空加壓裝置的加壓面具有充分的彈性，第二加壓裝置的加壓面也可以由金屬構件形成，作為彈性構件，也可以使用硬質橡膠等進行成型。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2002-120100號公報(權利要求1)、(0029)、(0035)、(圖1)、(圖5)

專利文獻2：日本特開2004-122553號公報(權利要求1)、(0041)至(0044)、(圖1)

專利文獻3：日本特開2008-12918號公報(摘要)、(權利要求1)、(0030)、(0031)、(圖1)、(圖8)

專利文獻4：日本特開2005-334902號公報(權利要求1)、(0018)、(0019)、(圖1)

發明內容

發明所要解決的課題

而在近年來，關于層疊成型中使用的層疊膜，從通過膜表面的低粗糙度化提高與被層疊物的密合性、通過熱膨脹率的降低防止與基板的剝離、提高絕緣性(減少介電損耗)降低含水率等目的出發，增加了SiO₂等無機材料的含有率的類型在不斷增多。但其結果是存在下述問題：楊氏模量大的層疊膜增加，對層疊膜進行加熱、加壓時，熔融材料的流動性也比以往類型的層疊膜低。

此外，還存在如下等問題：如果針對該問題而使用以往的加壓裝置單單增大加壓時的加壓力，則如圖5所示，因為緩沖材的彈性作用大，所以應力在加壓面的與被層疊的端部對應的部分集中，前述端部附近的層疊膜的樹脂材料流到外部而成型不良。