[發(fā)明專利]一種錸-鎢復合坩堝及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110771701.5 | 申請日： | 2021-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN113512714A | 公開（公告）日： | 2021-10-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 胡昌義;魏燕;蔡宏中;胡晉銓;王獻;郭俊梅;張詡翔;周利民;陳力;聞名;張貴學;汪星強;李艷瓊 | 申請（專利權(quán)）人： | 貴研鉑業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/14 | 分類號： | C23C16/14;C23C16/448;C30B35/00;C30B29/16 |
| 代理公司： | 北京高沃律師事務所 11569 | 代理人： | 趙琪 |
| 地址： | 650156 云南省昆*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 復合 坩堝 及其 制備 方法 | ||
1.一種錸-鎢復合坩堝，其特征在于，包括基體鎢坩堝以及錸層，所述錸層位于所述基體鎢坩堝的內(nèi)表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錸-鎢復合坩堝，其特征在于，所述錸層與基體鎢坩堝的厚度比為1:1～1:10。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的錸-鎢復合坩堝，其特征在于，所述錸層與基體鎢坩堝的厚度比為1:2～1:6。
4.權(quán)利要求1～3任一項所述的錸-鎢復合坩堝的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
將鎢坩堝依次進行酸洗、超聲清洗和干燥，得到待沉積錸層的鎢坩堝基體；
將所述待沉積錸層的鎢坩堝基體預熱，得到預熱基體；
在真空條件下，將錸與氯氣發(fā)生氯化反應，得到ReCl5氣體；
將所述ReCl5氣體輸送至所述預熱基體的表面進行化學氣相沉積，得到所述錸-鎢復合坩堝。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述真空條件的真空度不低于1.0Pa。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述預熱的溫度為1100～1300℃。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或6所述的制備方法，其特征在于，所述預熱的溫度為1150～1250℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述化學氣相沉積的壓力為800～1200Pa。
9.根據(jù)權(quán)利要求4或8所述的制備方法，其特征在于，所述化學氣相沉積的壓力為1000Pa。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述氯化反應的溫度為600～900℃。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
