[發(fā)明專利]電光裝置、電子設(shè)備以及電光裝置的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110762203.4
• 申請(qǐng)日: 2021-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113917741B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊藤智
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02F1/1343
• 分類號(hào): G02F1/1343
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;黃綸偉

1.一種電光裝置，其特征在于，具有電容元件，

所述電容元件具有：

第一電容電極；

電容絕緣層，其覆蓋所述第一電容電極的至少連續(xù)的3個(gè)面；以及

第二電容電極，其隔著所述電容絕緣層與所述第一電容電極的所述3個(gè)面對(duì)置，

在所述電光裝置的基板與所述電容元件之間具有第一布線，

所述第一布線與所述第一電容電極連接，

在所述第一布線與所述第二電容電極之間配置有阻止層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電光裝置，其特征在于，

在所述阻止層與所述第一電容電極之間配置有間隔件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電光裝置，其特征在于，

所述第一電容電極是鎢。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電光裝置，其特征在于，

在所述第一布線與所述阻止層之間配置有層間絕緣層。

5.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的電光裝置。

6.一種電光裝置的制造方法，其特征在于，具有以下工序：

在基板上形成第一布線；

在所述基板和所述第一布線上依次形成層間絕緣層、阻止層和犧牲層；

以到達(dá)所述第一布線的方式，在所述犧牲層、所述阻止層和所述層間絕緣層形成凹部；

在所述凹部的側(cè)壁形成間隔件；

在包含所述間隔件的所述凹部中形成插頭狀的第一電容電極；

利用所述阻止層去除所述犧牲層及所述間隔件的一部分，使所述第一電容電極的一部分露出；

以覆蓋所述第一電容電極的露出的至少連續(xù)的3個(gè)面的方式依次成膜出電容絕緣層和第二電容電極；以及

以成為與所述第一布線的寬度大致相同寬度的方式，去除所述第二電容電極、所述電容絕緣層以及所述阻止層，而形成電容元件。