[發明專利]一種耐腐蝕絕緣掩膜版及其制作方法

在審

• 申請號: 202110760771.0
• 申請日: 2021-07-05
• 公開（公告）號: CN113463022A
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 錢超;楊波
• 申請（專利權）人: 江蘇高光半導體材料有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C4/131;C23C4/06;C23C4/129;H01L21/32;H01L27/32
• 代理公司: 南京行高知識產權代理有限公司 32404
• 代理人: 肖念

1.一種耐腐蝕絕緣掩膜版，其特征在于，包括掩膜版(1)和掩膜版金屬框架(3)，所述掩膜版(1)包括多根橫條(7)和多根縱條(6)；所述橫條(7)與所述縱條(6)之間為正交關系且所述橫條(7)與所述縱條(6)交匯形成多個蒸鍍區域(5)，每個所述橫條(7)與每個所述縱條(6)的兩端都設有軸突(2)，所述掩膜版金屬框架(3)上設有與所述軸突(2)配合使用的焊接槽(4)。

2.一種耐腐蝕絕緣掩膜版制作方法，包括上述權利要求1中的所述軸突(2)和焊接槽(4)，其特征在于，包括以下步驟：

S1，對所述軸突(2)和焊接槽(4)的焊接面用酒精超聲清洗，冷風吹干；

S2，使用電弧噴涂對焊接面進行噴涂，形成一層金屬膜；

S3，對金屬膜進行噴砂打磨加糙處理；

S4，稱取鎳粉、硼化鐵、二氧化鈦、二氧化錳，用高速攪拌機使其混合均勻，在70MPa的壓力下壓制成型，轉移至碳管爐中升溫到400-430℃下燒結1-5h后再自然冷卻至室溫得到復合粉體；

S5，火焰噴涂設備將復合粉體對金屬膜表面進行噴涂，在金屬膜表面沉積一層耐腐絕緣層；

S6，加工完畢的掩膜版在0-15℃環境中靜置5h以上。

3.根據權利要求1所述的耐腐蝕絕緣掩膜版制作方法，其特征在于，所述S2中電弧噴涂的噴涂材料為鉻鋼。

4.根據權利要求1所述的耐腐蝕絕緣掩膜版制作方法，其特征在于，所述S2中金屬膜膜厚為3mm。

5.根據權利要求1所述的耐腐蝕絕緣掩膜版制作方法，其特征在于，所述S4中鎳粉、硼化鐵、二氧化鈦、二氧化錳的質量比為76:13:7:3。

6.根據權利要求1所述的耐腐蝕絕緣掩膜版制作方法，其特征在于，所述耐腐絕緣層厚度為0.5-5μm。