[發(fā)明專(zhuān)利]一種光斑監(jiān)控方法、系統(tǒng)、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110759440.5
• 申請(qǐng)日: 2021-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113256630B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳魯;呂肅;方一;黃有為;張嵩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G06T7/00
• 分類(lèi)號(hào): G06T7/00;G06T7/70;G06T5/00;G06T7/13
• 代理公司: 深圳鼎合誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44281
• 代理人: 劉兆;彭家恩

1.一種光斑監(jiān)控方法，其特征在于，包括：

基于預(yù)設(shè)的灰度閾值，從包含有光斑的圖像中獲取光斑的矩形區(qū)域，得到光斑圖像；以預(yù)設(shè)基準(zhǔn)作為原點(diǎn)建立二維或三維坐標(biāo)系，以便于調(diào)整光源；

檢測(cè)所述光斑圖像上多列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量，其中，同一列的各個(gè)檢測(cè)點(diǎn)沿所述光斑的寬度方向排布，各列檢測(cè)點(diǎn)沿所述光斑的長(zhǎng)度方向排布；

根據(jù)各個(gè)檢測(cè)點(diǎn)的位置及其光強(qiáng)表征量得到光斑形變的量化指標(biāo)，所述光斑形變僅包括離焦，或者包括離焦，還包括均勻性和/或偏轉(zhuǎn)；其中，

根據(jù)各個(gè)檢測(cè)點(diǎn)的位置及其光強(qiáng)表征量得到離焦的量化指標(biāo)包括：

分別計(jì)算每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量的離散程度；

根據(jù)各個(gè)所述離散程度得到離焦的量化指標(biāo)；

根據(jù)各個(gè)檢測(cè)點(diǎn)的位置及其光強(qiáng)表征量得到均勻性的量化指標(biāo)包括：

根據(jù)每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量得到每列檢測(cè)點(diǎn)光強(qiáng)表征量的峰值相關(guān)參數(shù)或均值相關(guān)參數(shù)，

根據(jù)所有峰值相關(guān)參數(shù)或均值相關(guān)參數(shù)的最大值和最小值得到均勻性的量化指標(biāo)；

所述偏轉(zhuǎn)包括平移和旋轉(zhuǎn)；根據(jù)各個(gè)檢測(cè)點(diǎn)的位置及其光強(qiáng)表征量得到平移和旋轉(zhuǎn)的量化指標(biāo)包括：

分別根據(jù)每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量確定每列檢測(cè)點(diǎn)的光斑中心位置；

根據(jù)各列所述光斑中心位置得到平移的量化指標(biāo)；

對(duì)各列所述光斑中心位置進(jìn)行直線(xiàn)擬合，將擬合得到的直線(xiàn)的傾角作為旋轉(zhuǎn)的量化指標(biāo)。

2.如權(quán)利要求1所述的光斑監(jiān)控方法，其特征在于，

所述分別計(jì)算每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量的離散程度包括：分別對(duì)每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量進(jìn)行高斯擬合，得到每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量的正態(tài)分布曲線(xiàn)，計(jì)算得到每個(gè)正態(tài)分布曲線(xiàn)的方差或標(biāo)準(zhǔn)差，所述方差或標(biāo)準(zhǔn)差表征所述離散程度；

所述根據(jù)所有峰值相關(guān)參數(shù)或均值相關(guān)參數(shù)的最大值和最小值得到均勻性的量化指標(biāo)包括：根據(jù)公式1-（Imax-Imin）/(Imax+Imin)計(jì)算得到均勻性的量化指標(biāo)；其中，Imax為峰值相關(guān)參數(shù)或均值相關(guān)參數(shù)的最大值，Imin為峰值相關(guān)參數(shù)或均值相關(guān)參數(shù)的最小值；

所述分別根據(jù)每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量確定每列檢測(cè)點(diǎn)的光斑中心位置包括：分別對(duì)每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量進(jìn)行高斯擬合，得到每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量的正態(tài)分布曲線(xiàn)，將正態(tài)分布曲線(xiàn)中最大光強(qiáng)表征量對(duì)應(yīng)的位置確定為其所在列的光斑中心位置；或者，分別對(duì)同列檢測(cè)點(diǎn)加權(quán)后的位置坐標(biāo)進(jìn)行求和、對(duì)同列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量進(jìn)行求和，光強(qiáng)表征量加權(quán)后的位置坐標(biāo)之和除以光強(qiáng)表征量之和得到該列檢測(cè)點(diǎn)的光斑中心位置的坐標(biāo)，由此得到每列檢測(cè)點(diǎn)的光斑中心位置；或者，分別根據(jù)每列檢測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)表征量確定每列檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光斑邊緣，根據(jù)光斑邊緣確定其光斑中心位置。

3.如權(quán)利要求1所述的光斑監(jiān)控方法，其特征在于，還包括：

判斷所述光斑形變的量化指標(biāo)是否超過(guò)預(yù)設(shè)閾值，若是則根據(jù)光斑形變的量化指標(biāo)調(diào)整形成所述光斑的光源；其中，根據(jù)離焦的量化指標(biāo)調(diào)整所述光源的高度，根據(jù)偏轉(zhuǎn)的量化指標(biāo)調(diào)整所述光源的水平位置和/或水平傾角，根據(jù)均勻性的量化指標(biāo)調(diào)整所述光源的俯仰傾角。