[發(fā)明專利]一種銅靶材的密封包裝方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202110757770.0
• 申請日: 2021-07-05
• 公開（公告）號: CN113306865A
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;竇興賢;王學(xué)澤;王青松;胡全
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B65D30/08
• 分類號: B65D30/08;B65D30/10;B65D33/00;B65D81/20;B65D85/50;B65D81/26
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發(fā)明提供了一種銅靶材的密封包裝方法，所述密封包裝方法包括：將銅靶材放置于密封袋中；所述密封袋外套設(shè)有至少2層密封件；所述密封袋內(nèi)、密封袋與密封件之間以及相鄰兩層密封件圍成的腔體內(nèi)充滿保護(hù)性氣體；最內(nèi)層密封件的外側(cè)設(shè)置有抗氧化層。本發(fā)明通過抗氧化層的設(shè)置，使銅靶材能夠長時(shí)間保存；且需要更換抗氧化層時(shí)，僅需對設(shè)置有抗氧化層的密封件進(jìn)行替換即可。所述密封包裝方法簡單易行，便于工業(yè)化推廣應(yīng)用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種包裝方法，尤其設(shè)置一種銅靶材的密封包裝方法。

背景技術(shù)

磁控濺射是一種利用帶電粒子轟擊靶材，使靶材原子從表面溢出并均勻沉積在襯底上的基片鍍膜工藝。磁控濺射以濺射率高、基片溫升低、膜-基結(jié)合力好，以及優(yōu)異的金屬鍍膜均勻性和可控性強(qiáng)等優(yōu)勢成為了優(yōu)異的基片鍍膜工藝之一。磁控濺射被廣泛應(yīng)用于芯片制造、液晶顯示器制造與太陽能電池制造等產(chǎn)業(yè)的鍍膜工藝中。

以銅靶材為例，銅靶材濺射過程中，利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過加速聚集，形成高速度的離子束流，轟擊銅靶材表面，離子和固體表面原子發(fā)生動能交換，使銅靶材表面的銅原子離開固體并沉積形成銅鍍膜。而且了獲得良好的銅膜層，通常對銅靶材的表面質(zhì)量具有較高的要求，因此，不僅對銅靶材生產(chǎn)時(shí)的表面處理工藝具有較高的要求，對銅靶材的存放同樣存在著較高的要求。

目前，實(shí)際生產(chǎn)中普遍采用的銅或銅合金濺射靶材的包裝件為使用由普通塑料膜支撐的包裝袋進(jìn)行包裝的包裝件。在包裝形式上，銅濺射靶材包裝件分為只使用一個(gè)包裝袋包裝的單層包裝件，以及使用多個(gè)包裝袋包裝的多層包裝件。由于普通塑料膜的氧氣透過量、透濕量都比較大，受普通塑料膜自身特性的限制，在使用普通塑料膜進(jìn)行包裝的情況下，即使進(jìn)行真空密封包裝且包裝袋自身沒有破損，如果保存時(shí)間過長，包裝袋內(nèi)的氧氣累計(jì)含量、水蒸氣累計(jì)含量也會很大。

銅濺射靶材靶材表面極易氧化，當(dāng)氧氣累計(jì)含量、水蒸氣累計(jì)含量超過一定限度時(shí)，包裝袋內(nèi)的銅濺射靶材表面就會氧化形成氧化層。氧化的銅濺射靶材表面金屬特性發(fā)生變化，難以發(fā)生濺射，并且容易發(fā)生電弧放電，因而會造成濺射鍍膜的質(zhì)量下降。因此，在使用普通塑料膜支撐的包裝袋進(jìn)行包裝的情況下，通常，銅濺射靶材的保存時(shí)間都比較短，以防止因銅濺射靶材表面氧化而造成濺射鍍膜效率和濺射鍍膜成膜質(zhì)量的下降，以及所生產(chǎn)產(chǎn)品的合格率和生產(chǎn)率的下降。

CN 213084107U公開了一種靶材真空存放裝置，所述靶材真空存放裝置包括底板以及底板連接的頂蓋；所述底板設(shè)置有放置靶材的凹槽，凹槽的深度大于靶材的厚度；所述凹槽的側(cè)壁設(shè)置有置換氣體入口、氣體排空口以及抽真空口；所述頂蓋的頂面設(shè)置有通孔，通孔由塑料薄膜封閉，塑料薄膜的表面積大于通孔的面積，使底板與頂蓋形成的腔體處于真空狀態(tài)時(shí)，塑料薄膜能夠包括靶材。但該存放裝置需要額外的設(shè)置金屬槽，成本較高。且需要使塑料薄膜緊貼靶材設(shè)置，隔絕氧氣的作用有限。

CN 201660228U公開了一種銅或銅合金濺射靶材包裝件，其具有銅或銅合金濺射靶材和包裹在該濺射靶材外部且呈封閉狀態(tài)的包裝體，所述包裝體由氧氣透過量在5mL/m²·24h·MPa以下，透濕量在3mL/m²·24h以下的塑料膜制成，且所述塑料膜的一個(gè)或兩個(gè)表面涂有例如銅箔的涂覆層。所述包裝件為真空密封包裝件，且所述包裝件還可為多層包裝。但所述包裝件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不利于工業(yè)化應(yīng)用。

對此，需要提供一種結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便的銅靶材的密封包裝方法。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種銅靶材的密封包裝方法，所述銅靶材的密封包裝方法使用簡單，通過抗氧化層的設(shè)置能夠使銅靶材能夠長時(shí)間保存；且需要更換抗氧化層時(shí)，僅需對設(shè)置有抗氧化層的密封件進(jìn)行替換即可。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種銅靶材的密封包裝方法包括：將銅靶材放置于密封袋中；

所述密封袋外套設(shè)有至少2層密封件；