[發明專利]一種銅靶材的密封包裝方法在審
| 申請號: | 202110757770.0 | 申請日: | 2021-07-05 |
| 公開(公告)號: | CN113306865A | 公開(公告)日: | 2021-08-27 |
| 發明(設計)人: | 姚力軍;竇興賢;王學澤;王青松;胡全 | 申請(專利權)人: | 合肥江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號: | B65D30/08 | 分類號: | B65D30/08;B65D30/10;B65D33/00;B65D81/20;B65D85/50;B65D81/26 |
| 代理公司: | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人: | 王巖 |
| 地址: | 230012 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 銅靶材 密封 包裝 方法 | ||
1.一種銅靶材的密封包裝方法,其特征在于,所述密封包裝方法包括:將銅靶材放置于密封袋中;
所述密封袋外套設有至少2層密封件;
所述密封袋內、密封袋與密封件之間以及相鄰兩層密封件圍成的腔體內充滿保護性氣體;
最內層密封件的外側設置有抗氧化層。
2.根據權利要求1所述的密封包裝方法,其特征在于,所述密封袋外依次套設有第一密封件與第二密封件;
所述第一密封件的外側設置有抗氧化層。
3.根據權利要求1或2所述的密封包裝方法,其特征在于,所述第一密封件與第二密封件分別獨立地為塑料薄膜;
優選地,所述塑料薄膜的厚度為120-200μm;
優選地,所述塑料薄膜的拉伸強度在60N/15mm以上。
4.根據權利要求1-3任一項所述的密封包裝方法,其特征在于,所述抗氧化層為均勻摻雜金屬粉末的凝膠層;
優選地,所述凝膠層的厚度為1-2mm。
5.根據權利要求4所述的密封包裝方法,其特征在于,所述金屬粉末包括鋅粉、鋁粉或鐵粉中的任意一種或至少兩種的組合;優選為鋅粉、鋁粉與鐵粉的組合;
優選地,所述鋅粉、鋁粉與鐵粉的質量比為10:(1-3):(1-2)。
6.根據權利要求4或5所述的密封包裝方法,其特征在于,以重量份數計,所述抗氧化層的制備原料包括:
7.根據權利要求6所述的密封包裝方法,其特征在于,所述引發劑為過硫酸鈉;
優選地,所述交聯劑包括丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、2-甲基丙烯酸甲酯或2-甲基丙烯酸乙酯;
優選地,所述溶劑包括水。
8.根據權利要求6或7所述的密封包裝方法,其特征在于,所述抗氧化層的制備方法包括:
(1)按配方量球磨攪拌聚丙烯醇、丙烯酸、引發劑、交聯劑與溶劑;
(2)步驟(1)球磨攪拌進行10-15min時,加入配方量金屬粉末,繼續球磨攪拌至少15min;
(3)將球磨攪拌后的漿液涂覆于密封件外側,形成抗氧化層;
優選地,所述球磨攪拌的溫度不超過50℃。
9.根據權利要求2-8任一項所述的密封包裝方法,其特征在于,所述密封袋與第一密封件之間設置有干燥劑;
優選地,所述干燥劑包括氧化鈣。
10.根據權利要求1-9任一項所述的密封包裝方法,其特征在于,所述密封包裝方法包括如下步驟:將銅靶材放置于密封袋中;
所述密封袋外依次套設有第一密封件與第二密封件;所述第一密封件與第二密封件分別獨立地為厚度120-200μm的塑料薄膜;
所述密封袋內、密封袋與第一密封件之間以及相鄰兩層密封件圍成的腔體內充滿保護性氣體;所述密封袋與第一密封件之間設置有干燥劑氧化鈣;
所述第一密封件的外側設置有厚度1-2mm的抗氧化層;所述抗氧化層為均勻摻雜金屬粉末的凝膠層;
所述抗氧化層的制備方法包括:
(1)按配方量球磨攪拌聚丙烯醇、丙烯酸、引發劑、交聯劑與溶劑;
(2)步驟(1)球磨攪拌進行10-15min時,加入配方量金屬粉末,繼續球磨攪拌至少15min;
(3)將球磨攪拌后的漿液涂覆于密封件外側,形成抗氧化層;
所述球磨攪拌的溫度不超過50℃。
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