[發明專利]一種用于氣體質量流量控制器的一體化微噴嘴

有效

• 申請號: 202110755206.5
• 申請日: 2021-07-01
• 公開（公告）號: CN113351387B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: 胡向宇;王鵬;王欽惠
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: B05B1/00
• 分類號: B05B1/00;B05B1/30
• 代理公司: 北京之于行知識產權代理有限公司 11767
• 代理人: 呂曉蓉

本申請涉及測量控制技術領域，具體而言，涉及一種用于氣體質量流量控制器的一體化微噴嘴，包括氣體質量流量控制器本體和噴嘴，噴嘴與氣體質量流量控制器本體一體成型，其中：氣體質量流量控制器本體內部設置有氣體通道；噴嘴包括微氣孔、分流槽以及密封裝置；分流槽設置在質量流量控制器本體的上表面，氣體通道與分流槽連通；微氣孔設置在分流槽的中心位置，微氣孔的下方通過密封裝置與氣體通道連通。本發明結構簡單，加工工藝成本較低，有效的避免了傳統噴嘴由于分體設計而導致的氣路密封問題、金屬鏡面拋光等復雜的加工工藝問題，并且在實現了氣體均衡，實現了微氣孔的快速加工，大大降低了加工難度。

技術領域

本申請涉及測量控制技術領域，具體而言，涉及一種用于氣體質量流量控制器的一體化微噴嘴。

背景技術

氣體質量流量控制器在化工、半導體、鍍膜技術、航天等領域有重要的應用，氣體流量控制器的流量控制的基本原理是靠電磁閥控制碟簧與本體的噴嘴之間的微米級距離來控制管道中的微氣體流量的。

噴嘴是氣體質量流量控制器的關鍵組件，噴嘴的結構、微氣孔的尺寸、平面度、表面粗糙度等參數直接影響氣體質量流量控制器的流量控制精度。

傳統的氣體質量流量控制器的噴嘴限于微氣孔的加工難度較大，一般采用分體式結構單獨加工出噴嘴和本體，然后通過裝配完成噴嘴和本體連接，這樣雖然解決了微氣孔加工工藝難得問題和氣體均衡的問題，但是在裝配的過程中又引入了本體與噴嘴之間的密封、噴嘴的鏡面拋光密封等新問題，這種傳統的分體式設計的加工難度大、加工工藝復雜，加工成本較高。

發明內容

本申請的主要目的在于提供一種用于氣體質量流量控制器的一體化微噴嘴，同時具有氣路密封、氣體均衡以及微氣體控制的功能，加工工藝簡單，加工成本較低。

為了實現上述目的，本申請提供了一種用于氣體質量流量控制器的一體化微噴嘴，包括氣體質量流量控制器本體和噴嘴，噴嘴與氣體質量流量控制器本體一體成型，其中：氣體質量流量控制器本體內部設置有氣體通道；噴嘴包括微氣孔、分流槽以及密封裝置；分流槽設置在質量流量控制器本體的上表面，氣體通道與分流槽連通；微氣孔設置在分流槽的中心位置，微氣孔的下方通過密封裝置與氣體通道連通。

進一步的，分流槽為環形分流槽。

進一步的，密封裝置包括粗孔和密封堵頭，其中：粗孔包括上粗孔和下粗孔；微氣孔通過上粗孔與氣體通道連通，下粗孔內部設置有密封堵頭。

進一步的，微氣孔的孔徑≤0.5mm。

進一步的，粗孔的孔徑≤2mm。

進一步的，氣室通過噴嘴與氣體質量流量控制器本體連接。

進一步的，氣室與噴嘴之間為金屬密封或者橡膠密封。

本發明提供的一種用于氣體質量流量控制器的一體化微噴嘴，具有以下有益效果：

本發明將噴嘴與氣體質量流量控制本體進行一體化成型，結構簡單，加工工藝成本較低，有效的避免了傳統噴嘴由于分體設計而導致的氣路密封問題、金屬鏡面拋光等復雜的加工工藝問題，并且在實現氣體控制的同時通過設計環形的分流槽實現了氣體均衡，此外采用上下二次打洞程序的微氣孔加工方法，實現了微氣孔的快速加工，大大降低了加工難度。

附圖說明

構成本申請的一部分的附圖用來提供對本申請的進一步理解，使得本申請的其它特征、目的和優點變得更明顯。本申請的示意性實施例附圖及其說明用于解釋本申請，并不構成對本申請的不當限定。在附圖中：

圖1是根據本申請實施例提供的一種用于氣體質量流量控制器的一體化微噴嘴的結構示意圖；

圖2是根據本申請實施例提供的一種用于氣體質量流量控制器的一體化微噴嘴的截面示意圖；