[發(fā)明專利]一種用于氣體質(zhì)量流量控制器的一體化微噴嘴有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110755206.5 | 申請日： | 2021-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN113351387B | 公開（公告）日： | 2023-07-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡向宇;王鵬;王欽惠 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘭州空間技術(shù)物理研究所 |
| 主分類號： | B05B1/00 | 分類號： | B05B1/00;B05B1/30 |
| 代理公司： | 北京之于行知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11767 | 代理人： | 呂曉蓉 |
| 地址： | 730013 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 氣體 質(zhì)量 流量 控制器 一體化 噴嘴 | ||
1.一種用于氣體質(zhì)量流量控制器的一體化微噴嘴，包括氣體質(zhì)量流量控制器本體和噴嘴，其特征在于，所述噴嘴與所述氣體質(zhì)量流量控制器本體一體成型，其中：
所述氣體質(zhì)量流量控制器本體內(nèi)部設(shè)置有氣體通道；
所述噴嘴包括微氣孔、分流槽以及密封裝置；
所述分流槽設(shè)置在所述質(zhì)量流量控制器本體的上表面，所述氣體通道與所述分流槽連通；
所述微氣孔設(shè)置在所述分流槽的中心位置，所述微氣孔的下方通過密封裝置與所述氣體通道連通；
所述分流槽為環(huán)形分流槽；
所述密封裝置包括粗孔和密封堵頭，其中：所述粗孔包括上粗孔和下粗孔；
所述微氣孔通過上粗孔與所述氣體通道連通，所述下粗孔內(nèi)部設(shè)置有所述密封堵頭；
氣室通過所述噴嘴與所述氣體質(zhì)量流量控制器本體連接；
在氣體質(zhì)量流量控制器本體的底部從下而上通過精密鉆床加工出粗孔，然后從本體的上表面，采用精密鉆頭向下鉆出微氣孔；
氣體質(zhì)量流量控制器是靠電磁閥控制氣室的碟簧與噴嘴之間的距離來控制氣體管道中微氣體的流量；
氣室與噴嘴之間為金屬密封或者橡膠密封。
2.如權(quán)利要求1?所述的用于氣體質(zhì)量流量控制器的一體化微噴嘴，其特征在于，所述微氣孔的孔徑≤0.5mm。
3.如權(quán)利要求2?所述的用于氣體質(zhì)量流量控制器的一體化微噴嘴，其特征在于，所述粗孔的孔徑≤2mm。
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