[發明專利]光譜濾波器以及包括光譜濾波器的圖像傳感器和電子設備

在審

• 申請號: 202110746843.6
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN113889494A
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發明（設計）人: 金孝哲;盧永瑾;樸研相;李在崇
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G02B5/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳曉兵

1.一種光譜濾波器，包括：

第一單元濾波器，具有第一波長范圍中的第一中心波長；以及

第二單元濾波器，具有第二波長范圍中的第二中心波長，

其中，所述第一單元濾波器包括：

兩個第一金屬反射層，彼此間隔開設置并且包括第一金屬；以及

第一腔，設置在所述兩個第一金屬反射層之間，并且

其中，所述第二單元濾波器包括：

兩個第二金屬反射層，彼此間隔開設置并且包括與所述第一金屬不同的第二金屬；以及

第二腔，設置在所述兩個第二金屬反射層之間。

2.根據權利要求1所述的光譜濾波器，其中，所述第一單元濾波器和所述第二單元濾波器以一維或二維方式設置在平面上。

3.根據權利要求1所述的光譜濾波器，其中，所述第一波長范圍中的所述第一中心波長短于所述第二波長范圍中的所述第二中心波長。

4.根據權利要求3所述的光譜濾波器，其中所述兩個第一金屬反射層包括鋁(Al)、銀(Ag)、金(Au)或氮化鈦(TiN)中的一種，并且

其中，所述兩個第二金屬反射層包括與所述兩個第一金屬反射層不同的銅(Cu)、Ag、Au或TiN中的一種。

5.根據權利要求1所述的光譜濾波器，其中，所述第一單元濾波器被包括在第一濾波器陣列中，所述第一濾波器陣列包括具有不同中心波長的多個第一單元濾波器，并且所述第二單元濾波器被包括在第二濾波器陣列中，所述第二濾波器陣列包括具有不同中心波長的多個第二單元濾波器。

6.根據權利要求1所述的光譜濾波器，其中，所述第一單元濾波器的所述第一中心波長被配置為基于改變所述第一腔的厚度或有效折射率來調整，并且

其中，所述第二單元濾波器的所述第二中心波長被配置為基于改變所述第二腔的厚度或有效折射率來調整。

7.根據權利要求1所述的光譜濾波器，其中，所述第一單元濾波器還包括設置在所述第一腔上方的第一介電層和設置在所述第一腔下方的第二介電層，并且

其中，所述第二單元濾波器還包括設置在所述第二腔下方的第三介電層和設置在所述第二腔上方的第四介電層。

8.根據權利要求7所述的光譜濾波器，其中，所述第一介電層、所述第二介電層、所述第三介電層和所述第四介電層中的每一個包括單個層或多個層。

9.根據權利要求7所述的光譜濾波器，其中，所述第一介電層、所述第二介電層、所述第三介電層和所述第四介電層中的每一個具有范圍從10nm到20000nm的厚度。

10.根據權利要求7所述的光譜濾波器，其中，所述第一介電層和所述第二介電層中的每一個的厚度或有效折射率中的至少一項基于所述第一單元濾波器的所述第一中心波長來調整，并且

其中，所述第三介電層和所述第四介電層中的每一個的厚度或有效折射率基于所述第二單元濾波器的所述第二中心波長來調整。

11.根據權利要求1所述的光譜濾波器，還包括：多個微透鏡，設置在所述第一單元濾波器和所述第二單元濾波器上。

12.根據權利要求1所述的光譜濾波器，還包括：濾色器，與所述第一單元濾波器和所述第二單元濾波器設置在相同的平面上。

13.根據權利要求1所述的光譜濾波器，還包括：附加濾波器，設置在所述第一單元濾波器和所述第二單元濾波器上，所述附加濾波器被配置為透射預設的波段。

14.根據權利要求13所述的光譜濾波器，其中，所述附加濾波器包括濾色器或寬帶濾波器。