[發明專利]制造顯示裝置的裝置

在審

• 申請號: 202110743368.7
• 申請日: 2021-07-01
• 公開（公告）號: CN113889590A
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發明（設計）人: 高晙赫;金義圭;金珉奭;金奉駿;俞何嵐;鄭京勛
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/683;H01L27/32
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 翟洪玲;周艷玲

一種制造顯示裝置的裝置包括基板。掩模組件包括開口、圍繞開口的掩?？蚣芎吐摻拥窖谀？蚣艿闹辽僖粋€掩模。靜電卡盤被配置以將基板附著到至少一個掩模。第一驅動器被配置以驅動靜電卡盤。掩?？蚣艿闹辽倬植坎糠衷诨宓暮穸确较蛏吓c靜電卡盤不重疊。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2020年7月3日在韓國知識產權局提交的第10-2020-0082263號韓國專利申請的優先權，該韓國專利申請的公開內容通過引用全部并入本文。

技術領域

一個或多個示例性實施例涉及一種制造顯示裝置的裝置，更具體地，涉及一種制造顯示裝置的裝置，其中工藝良率增加。

背景技術

隨著信息導向社會的發展，對用于顯示圖像的顯示裝置的需求增加。相對薄且輕量并且提供相對較大的顯示面積的平板顯示(FPD)設備已經變得越來越普及。例如，FPD設備已經取代了與FPD設備相比具有相對較大的尺寸的陰極射線管(CRT)。FPD設備包括液晶顯示(LCD)設備、等離子體顯示面板(PDPs)、有機發光顯示(OLED)設備和電泳顯示(ED)設備。

有機發光顯示裝置包括有機發光二極管，有機發光二極管包括對電極、像素電極和發射層。有機發光顯示裝置的電極和發射層可以通過各種方法形成。這些方法之一包括獨立沉積方法。獨立沉積方法涉及張緊精細金屬掩模(FMM)以將FMM緊密地附著到掩?？蚣埽约皩⒊练e材料沉積到表面。

發明內容

一個或多個示例性實施例包括一種工藝損失減小的制造顯示裝置的裝置，以及一種制造顯示裝置的方法。

附加方面將在隨后的描述中部分地闡述，并且將部分地從該描述中變得明顯，或者可以通過實踐本發明構思的所提出的示例性實施例來獲悉。

根據示例性實施例，一種制造顯示裝置的裝置包括基板。掩模組件包括開口、圍繞所述開口的掩?？蚣芎吐摻拥剿鲅谀？蚣艿闹辽僖粋€掩模。靜電卡盤被配置以將所述基板附著到所述至少一個掩模。第一驅動器被配置以驅動所述靜電卡盤。所述掩?？蚣艿闹辽倬植坎糠衷谒龌宓暮穸确较蛏吓c所述靜電卡盤不重疊。

在平面圖中，所述掩模框架的內端可以遠離所述靜電卡盤的外端。

連接構件可以聯接到所述靜電卡盤的頂表面的至少一部分，以將所述靜電卡盤連接到所述第一驅動器。

所述第一驅動器可以將所述靜電卡盤向上或向下轉移。

所述裝置可以進一步包括第一板，被配置以將所述基板緊密地附著到所述掩模。

所述靜電卡盤和所述第一板可以被獨立地驅動。

所述裝置可以進一步包括被配置以驅動所述第一板的第二驅動器，其中所述第二驅動器可以將所述第一板向上或向下轉移。

所述連接構件可以包括槽，并且所述第一板可以安置在所述槽中。

所述連接構件可以包括開口，所述開口暴露所述靜電卡盤的頂表面的至少一部分，并且所述第一板可以安置在所述開口中。

所述掩?？蚣芸梢园ň哂械谝缓穸鹊牡谝徊糠?；以及第二部分，具有小于所述第一厚度的第二厚度，其中所述第一部分可以與所述靜電卡盤不重疊。

根據示例性實施例，一種制造顯示裝置的裝置包括基板。掩模組件包括開口、圍繞所述開口的掩?？蚣芎吐摻拥剿鲅谀？蚣艿闹辽僖粋€掩模。靜電卡盤被配置以將所述基板附著到所述掩模。第一驅動器被配置以驅動所述靜電卡盤。所述靜電卡盤包括主體部分，在所述基板的厚度方向上與所述掩?？蚣懿恢丿B，并且具有第一厚度；以及連接部分，在所述基板的所述厚度方向上與所述掩?？蚣苤辽俨糠值刂丿B，并且具有小于所述第一厚度的第二厚度。

所述連接部分可以至少部分地圍繞所述主體部分。