[發明專利]制造顯示裝置的裝置

在審

• 申請號: 202110743368.7
• 申請日: 2021-07-01
• 公開（公告）號: CN113889590A
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發明（設計）人: 高晙赫;金義圭;金珉奭;金奉駿;俞何嵐;鄭京勛
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/683;H01L27/32
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 翟洪玲;周艷玲

1.一種制造顯示裝置的裝置，所述裝置包括：

基板；

掩模組件，包括開口、圍繞所述開口的掩模框架和聯接到所述掩模框架的至少一個掩模；

靜電卡盤，被配置以將所述基板附著到所述至少一個掩模；以及

第一驅動器，被配置以驅動所述靜電卡盤；

其中所述掩模框架的至少局部部分在所述基板的厚度方向上與所述靜電卡盤不重疊。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中：

在平面圖中，所述掩模框架的內端與所述靜電卡盤的外端間隔開；并且

所述掩模框架的整個部分在所述基板的所述厚度方向上與所述靜電卡盤不重疊。

3.根據權利要求1所述的裝置，其中所述裝置進一步包括：

連接構件，被配置以將所述靜電卡盤連接到所述第一驅動器；并且

所述連接構件聯接到所述靜電卡盤的頂表面的至少局部部分，以將所述靜電卡盤連接到所述第一驅動器。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一驅動器被配置以使所述靜電卡盤向上或向下移動。

5.根據權利要求3所述的裝置，進一步包括第一板，被配置以通過施加磁力將所述基板附著到所述至少一個掩模。

6.根據權利要求5所述的裝置，其中所述靜電卡盤和所述第一板被彼此獨立地驅動。

7.根據權利要求6所述的裝置，進一步包括被配置以驅動所述第一板的第二驅動器，

其中所述第二驅動器被配置以使所述第一板向上或向下移動。

8.根據權利要求5所述的裝置，其中：

所述連接構件包括槽；并且

所述第一板被配置以安置在所述槽中。

9.根據權利要求5所述的裝置，其中：

所述連接構件包括孔，所述孔暴露所述靜電卡盤的頂表面的至少局部部分；并且

所述第一板被配置以安置在所述孔中。

10.根據權利要求1所述的裝置，其中所述掩模框架包括：

具有第一厚度的第一部分；以及

具有小于所述第一厚度的第二厚度的第二部分，

其中所述第一部分在所述基板的所述厚度方向上與所述靜電卡盤不重疊；并且

其中所述第二部分在所述基板的所述厚度方向上與所述靜電卡盤的至少局部部分重疊。

11.一種制造顯示裝置的裝置，所述裝置包括：

基板；

掩模組件，包括開口、圍繞所述開口的掩模框架和聯接到所述掩模框架的至少一個掩模；

靜電卡盤，被配置以將所述基板附著到所述至少一個掩模；以及

第一驅動器，被配置以驅動所述靜電卡盤，

其中所述靜電卡盤包括：

主體部分，在所述基板的厚度方向上與所述掩模框架不重疊，并且具有第一厚度；和

連接部分，在所述基板的所述厚度方向上與所述掩模框架至少部分地重疊，并且具有小于所述第一厚度的第二厚度。

12.根據權利要求11所述的裝置，其中所述連接部分至少部分地圍繞所述主體部分。

13.根據權利要求11所述的裝置，其中在平面圖中，所述掩模框架的內端與所述靜電卡盤的所述主體部分的外端間隔開。

14.根據權利要求11所述的裝置，其中所述第一驅動器聯接到所述靜電卡盤的橫向表面。

15.根據權利要求14所述的裝置，其中所述第一驅動器聯接到所述靜電卡盤的所述連接部分。

16.根據權利要求11所述的裝置，其中所述第一驅動器被配置以使所述靜電卡盤向上或向下移動。