[發(fā)明專利]等離子體處理裝置和等離子體處理裝置的載置臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110738099.5
• 申請(qǐng)日: 2021-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN113903646A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 堂込公宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;池兵

本發(fā)明提供能夠容易地更換等離子體處理裝置的消耗部件的等離子體處理裝置和等離子體處理裝置的載置臺(tái)。等離子體處理裝置的載置臺(tái)包括晶片載置面、環(huán)載置面、升降銷和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。晶片載置面用于載置晶片。環(huán)載置面用于載置第1環(huán)和第2環(huán)。第2環(huán)配置在第1環(huán)的外周側(cè)并且配置在與該第1環(huán)在上下方向不重疊的位置。環(huán)載置面在和第1環(huán)與第2環(huán)的邊界對(duì)應(yīng)的位置具有孔。環(huán)載置面設(shè)置在晶片載置面的外周側(cè)。升降銷具有第1保持部和第2保持部。第2保持部在第1保持部的軸向上與第1保持部相連，第2保持部具有從第1保持部的外周突出的突出部。升降銷能夠以第1保持部位于環(huán)載置面?zhèn)鹊姆绞奖皇占{在環(huán)載置面的孔內(nèi)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于可升降地驅(qū)動(dòng)升降銷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及等離子體處理裝置和等離子體處理裝置的載置臺(tái)。

背景技術(shù)

在使用等離子體對(duì)半導(dǎo)體晶片等基片進(jìn)行處理的系統(tǒng)中，為了調(diào)整等離子體的蝕刻速度和/或蝕刻輪廓，有時(shí)在基片的半徑方向外緣部附近配置環(huán)狀的部件。

例如，專利文獻(xiàn)1的基片處理系統(tǒng)中，與處理腔室內(nèi)的底座的半徑方向外緣部相鄰地配置邊緣連結(jié)環(huán)。邊緣連結(jié)環(huán)在蝕刻時(shí)會(huì)被等離子體浸蝕。因此，在專利文獻(xiàn)1中，采用了能夠利用致動(dòng)器使邊緣連結(jié)環(huán)上升從而利用機(jī)械臂進(jìn)行更換的結(jié)構(gòu)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2016-146472號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明提供能夠容易地更換等離子體處理裝置的消耗部件的技術(shù)。

用于解決技術(shù)問題的手段

本發(fā)明的載置臺(tái)和等離子體處理裝置包括晶片載置面、環(huán)載置面、升降銷和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。晶片載置面用于載置晶片。環(huán)載置面用于載置第1環(huán)和第2環(huán)。第2環(huán)配置在第1環(huán)的外周側(cè)并且配置在與該第1環(huán)在上下方向不重疊的位置。環(huán)載置面在和第1環(huán)與第2環(huán)的邊界對(duì)應(yīng)的位置具有孔。環(huán)載置面設(shè)置在晶片載置面的外周側(cè)。升降銷具有第1保持部和第2保持部。第2保持部在第1保持部的軸向上與第1保持部相連，第2保持部具有從第1保持部的外周突出的突出部。升降銷能夠以第1保持部位于環(huán)載置面?zhèn)鹊姆绞奖皇占{在環(huán)載置面的孔內(nèi)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于可升降地驅(qū)動(dòng)升降銷。

發(fā)明效果

采用本發(fā)明，能夠容易地更換等離子體處理裝置的消耗部件。

附圖說明

圖1是表示實(shí)施方式的等離子體處理裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖2是表示實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖3A是表示由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行的邊緣環(huán)的輸送開始時(shí)的狀態(tài)例的圖。

圖3B是表示由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)舉起邊緣環(huán)的狀態(tài)例的圖。

圖3C是表示將由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)舉起的邊緣環(huán)載置在機(jī)械臂上之前的狀態(tài)例的圖。

圖3D是表示由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)舉起的邊緣環(huán)被載置在機(jī)械臂上的狀態(tài)例的圖。

圖4A是表示由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行的覆蓋環(huán)的輸送開始時(shí)的狀態(tài)例的圖。

圖4B是表示由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)舉起覆蓋環(huán)的狀態(tài)例的圖。

圖4C是表示將由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)舉起的覆蓋環(huán)載置在機(jī)械臂上之前的狀態(tài)例的圖。

圖4D是表示由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)舉起的覆蓋環(huán)被載置在機(jī)械臂上的狀態(tài)例的圖。

圖5A是表示由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行的覆蓋環(huán)的輸送開始時(shí)的狀態(tài)例2的圖。

圖5B是表示由實(shí)施方式的輸送機(jī)構(gòu)舉起覆蓋環(huán)的狀態(tài)例2的圖。