[發明專利]一種Ni柱子輔助PMMA微透鏡陣列及其制備方法有效
| 申請號： | 202110735232.1 | 申請日： | 2021-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN113608285B | 公開（公告）日： | 2022-05-03 |
| 發明（設計）人： | 梁小筱;伊福廷;劉靜;王波;張天沖;顏銘銘;徐源澤 | 申請（專利權）人： | 中國科學院高能物理研究所 |
| 主分類號： | G02B3/00 | 分類號： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知識產權代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ni 柱子 輔助 pmma 透鏡 陣列 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種Ni柱子輔助PMMA微透鏡陣列的制備方法，其步驟包括：
1)在鍍鉻金的硅片上電鍍Ni柱子陣列；
2)在電鍍有Ni柱子陣列的所述硅片上旋涂一層液態PMMA后進行烘干處理；
3)運用套刻技術，將X射線掩膜版與所述硅片上的Ni柱子對準，然后進行曝光、顯影后得到具有PMMA柱子陣列的樣品，其中所述PMMA柱子陣列中每一PMMA柱子內部包含一Ni柱子；
4)將步驟3)所得樣品放入烘箱中加熱，使得所述PMMA柱子陣列中的各PMMA柱子熱熔為微透鏡，得到微透鏡陣列。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，Ni柱子的直徑為180μm，高度為7～10μm。
3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述PMMA柱子的直徑為245μm，高度為104μm。
4.如權利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，步驟2)中，將旋涂一層液態PMMA的樣品放到95℃熱板上，加熱2小時烘干液體PMMA。
5.如權利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，步驟4)中，將所述樣品放入烘箱中加熱，熱熔溫度為240℃、熱熔時間為30分鐘。
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