[發明專利]半導體工藝設備及其門閥中位調節裝置

有效

• 申請號: 202110732619.1
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN113431910B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 耿宏偉
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/30;F16K27/04;F16K31/122;F16K37/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種用于半導體工藝設備的門閥中位調節裝置，其特征在于，所述半導體工藝設備包括工藝腔室和用于控制所述工藝腔室的出氣口開度的門閥組件，所述門閥組件包括閥板和中位調節件，所述中位調節件用于通過轉動來調節所述閥板處于中位狀態時所述出氣口的開度，所述門閥中位調節裝置包括套筒和調節桿，所述套筒套設在所述調節桿上，所述調節桿的第一端用于與所述中位調節件連接并帶動所述中位調節件繞所述調節桿的軸線轉動；所述套筒能夠在所述調節桿轉動時沿所述調節桿的軸向進行直線運動，且所述套筒與所述調節桿沿軸向的相對位置的變化量與所述調節桿的旋轉角度成正比，所述門閥中位調節裝置上具有位置標識圖案，所述位置標識圖案用于量化所述套筒與所述調節桿之間的相對位置的變化量，

所述門閥中位調節裝置還包括固定座，所述固定座包括固定筒和沿所述調節桿的軸線方向設置在所述固定筒上的直線導軌，所述固定筒環繞所述調節桿設置，所述套筒朝向所述調節桿的第一端的端面上形成有相互連通的環形槽和導軌槽，所述固定筒的一端設置在所述環形槽中，所述直線導軌的一端設置在所述導軌槽中，且所述固定筒和所述直線導軌能夠分別沿所述環形槽和所述導軌槽相對于所述套筒運動。

2.根據權利要求1所述的門閥中位調節裝置，其特征在于，所述套筒的內壁上形成有內螺紋，所述調節桿包括螺紋段，且所述螺紋段的外周壁形成有外螺紋，所述外螺紋與所述內螺紋相配合。

3.根據權利要求2所述的門閥中位調節裝置，其特征在于，所述門閥組件還包括閥板控制機構，所述閥板控制機構用于調節所述閥板的狀態，所述固定座用于與所述閥板控制機構固定連接，所述套筒活動設置在所述固定座上，且所述套筒能夠帶動所述調節桿相對于所述固定座沿所述調節桿的軸線方向運動，以使所述調節桿的第一端與所述中位調節件對接或脫離所述中位調節件。

4.根據權利要求1所述的門閥中位調節裝置，其特征在于，所述中位調節件上形成有傳動槽，所述傳動槽具有非圓橫截面，所述調節桿的第一端具有傳動頭，所述傳動頭的橫截面形狀與所述傳動槽的橫截面形狀對應，且所述傳動頭用于插入所述傳動槽中。

5.根據權利要求2或3所述的門閥中位調節裝置，其特征在于，所述位置標識圖案包括沿所述調節桿的軸線方向延伸的第一刻度圖案，所述第一刻度圖案設置在所述調節桿的第二端與所述螺紋段之間的外周壁上，所述第一刻度圖案包括多條垂直于所述調節桿的軸線方向延伸的第一刻度線。

6.根據權利要求5所述的門閥中位調節裝置，其特征在于，多條所述第一刻度線沿所述調節桿的軸線方向等間隔設置，且相鄰兩條所述第一刻度線之間的距離等于所述外螺紋的螺距。

7.根據權利要求5所述的門閥中位調節裝置，其特征在于，所述位置標識圖案還包括基準線和第二刻度圖案，所述基準線設置在所述調節桿的外周壁上，且沿所述調節桿的軸線方向延伸，所述第二刻度圖案設置在所述套筒的外壁上，所述第二刻度圖案包括多條環繞所述調節桿的軸線周向等間隔設置且沿所述調節桿的軸線方向延伸的第二刻度線。

8.根據權利要求7所述的門閥中位調節裝置，其特征在于，所述第二刻度圖案包括25條所述第二刻度線。

9.一種半導體工藝設備，其特征在于，包括工藝腔室和用于控制所述工藝腔室的出氣口開度的門閥組件，所述門閥組件包括閥板和中位調節件，所述中位調節件用于通過轉動來調節所述閥板處于中位狀態時所述出氣口的開度，所述半導體工藝設備還包括權利要求1至8中任意一項所述的門閥中位調節裝置。