[發明專利]工藝腔室及半導體工藝設備

有效

• 申請號: 202110731675.3
• 申請日: 2021-06-29
• 公開（公告）號: CN113463050B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 郭浩
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種工藝腔室，用于半導體工藝設備，其特征在于，包括腔體(100)、承載座(200)、內襯組件(300)、靶材(400)和移動烘烤燈組件(500)；

所述靶材(400)設置于所述腔體(100)的頂部開口上，所述內襯組件(300)至少部分位于所述腔體(100)內，且所述內襯組件(300)的一端設置于所述靶材(400)和所述腔體(100)之間，所述內襯組件(300)的另一端懸空，所述承載座(200)設置于所述腔體(100)內，且所述承載座(200)位于所述內襯組件(300)的下方；

所述移動烘烤燈組件(500)包括烘烤燈(520)，所述烘烤燈(520)可移動地設置于所述腔體(100)內，選擇性地移入或者移出烘烤位置，當所述烘烤燈(520)位于所述烘烤位置時，對所述內襯組件(300)的內壁和所述靶材(400)的底壁進行烘烤，其中，所述烘烤位置位于所述承載座(200)和所述內襯組件(300)之間，且位于所述內襯組件(300)的底部開口的下方。

2.根據權利要求1所述的工藝腔室，其特征在于，所述移動烘烤燈組件(500)還包括承載臂(510)，所述承載臂(510)的一端為承載端(511)，所述承載臂(510)的另一端為驅動端(512)，所述承載臂(510)和所述腔體(100)活動配合，所述承載端(511)位于所述腔體(100)內，

且所述烘烤燈(520)設置于所述承載端(511)上，所述驅動端(512)位于所述腔體(100)外，用于驅動所述烘烤燈(520)在所述腔體(100)內移動。

3.根據權利要求2所述的工藝腔室，其特征在于，所述承載端(511)為圓盤狀，所述烘烤燈(520)數量為多個，且環繞設置于所述承載端(511)上。

4.根據權利要求3所述的工藝腔室，其特征在于，多個所述烘烤燈(520)以逐層且環形陣列的方式設置于所述承載端(511)上。

5.根據權利要求2所述的工藝腔室，其特征在于，所述腔體(100)的側壁形成有容置腔(110)，所述容置腔(110)用于當所述烘烤燈(520)處于非工作狀態下容納所述烘烤燈(520)；

所述腔體(100)的側壁上設有與所述容置腔(110)連通的通孔(120)，所述承載臂(510)穿設于所述通孔(120)；

所述腔體(100)的外側壁上設有密封連接件(600)，所述密封連接件(600)的一端與所述腔體(100)密封連接，且外套于所述通孔(120)外側，所述密封連接件(600)的另一端與所述承載臂(510)的伸出所述容置腔(110)的部分密封連接。

6.根據權利要求5所述的工藝腔室，其特征在于，所述密封連接件(600)包括波紋管(610)、第一連接法蘭(620)和第二連接法蘭(630)，所述波紋管(610)的一端通過所述第一連接法蘭(620)與所述通孔(120)相連，所述波紋管(610)的另一端通過所述第二連接法蘭(630)與所述承載臂(510)相連。

7.根據權利要求2所述的工藝腔室，其特征在于，所述移動烘烤燈組件(500)還包括驅動機構(530)，所述驅動機構(530)設置于所述腔體(100)的外側，所述驅動機構(530)與所述驅動端(512)相連，用于驅動所述烘烤燈(520)在水平方向移入或者移出所述烘烤位置。

8.根據權利要求7所述的工藝腔室，其特征在于，所述驅動機構(530)包括驅動電機(531)、絲桿(532)和螺紋套(533)，所述絲桿(532)與所述驅動電機(531)相連，所述驅動電機(531)可驅動所述絲桿(532)轉動，所述螺紋套(533)的一端與所述驅動端(512)固定連接，另一端與所述絲桿(532)螺紋連接，所述螺紋套(533)隨所述驅動電機(531)驅動絲桿(532)轉動而移動，所述驅動端(512)可隨所述螺紋套(533)移動而移動。