[發明專利]一種用于多晶硅提純的電磁加熱爐

有效

• 申請號: 202110728901.2
• 申請日: 2021-06-29
• 公開（公告）號: CN113357913B
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 曹明貴
• 申請（專利權）人: 吉利硅谷（谷城）科技有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D11/06;C01B33/037
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 吳甘棠

1.一種用于多晶硅提純的電磁加熱爐，包括外殼（1），其特征在于：所述外殼（1）內腔的底部固定安裝有支撐柱（2），所述支撐柱（2）的頂部固定安裝有圓形加熱板（3），所述外殼（1）內腔底部且位于支撐柱（2）外側的位置上固定安裝有支撐座（4），所述支撐座（4）的頂部固定安裝有支撐環（5），所述支撐環（5）的頂部放置有儲液裝置（6），所述儲液裝置（6）的內部活動套接有承載裝置（7），所述外殼（1）內壁且位于承載裝置（7）上方的位置上固定安裝有雙管型加熱器（8），所述外殼（1）外表面且位于雙管型加熱器（8）上方的位置上固定安裝有入料口（9），所述儲液裝置（6）的內部固定套接有姿態調整裝置（10），所述承載裝置（7）包括防漏板（71），所述防漏板（71）的外表面固定套接有固定式載料板（72），所述防漏板（71）的底部固定安裝有限位環（73），所述防漏板（71）外表面且位于固定式載料板（72）和限位環（73）之間的位置上活動套接有復位型載料板（74），所述復位型載料板（74）與固定式載料板（72）之間呈交錯式布置，所述固定式載料板（72）的外表面固定安裝有外固定架（75），所述外固定架（75）的底部固定安裝有復位塞（76）且復位塞（76）的數量為六個并以環形陣列的方式分布，所述姿態調整裝置（10）包括調節環形板（101），所述調節環形板（101）的頂部開設有調節三角槽（102），所述調節三角槽（102）的外形呈三角且頂部的寬度大于底部的寬度，所述調節三角槽（102）與固定式載料板（72）和復位型載料板（74）相對應。

2.根據權利要求1所述的一種用于多晶硅提純的電磁加熱爐，其特征在于：所述儲液裝置（6）包括斜面儲液槽（61），所述斜面儲液槽（61）的內壁設置為斜面，所述斜面儲液槽（61）的頂部固定安裝有行程套筒（62），所述行程套筒（62）的內壁上開設有行程槽（63）且行程槽（63）的內部活動套接有承載裝置（7），所述行程槽（63）的頂部固定安裝有觸發開關（64），所述觸發開關（64）的輸出端通過信號連接的方式與雙管型加熱器（8）的輸入端相連接，所述行程槽（63）的底部且位于斜面儲液槽（61）外側的位置上固定安裝有復位管（65），所述復位塞（76）活動套接在復位管（65）的內部。

3.根據權利要求1所述的一種用于多晶硅提純的電磁加熱爐，其特征在于：所述雙管型加熱器（8）由兩層環形電磁加熱板構成，所述雙管型加熱器（8）外側位于行程套筒（62）的外側且雙管型加熱器（8）內側位于防漏板（71）的內側。