[發明專利]一種Micro OLED器件結構及其制備方法

在審

• 申請號: 202110719205.5
• 申請日: 2021-06-28
• 公開（公告）號: CN113437240A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 曹君;劉勝芳;趙錚濤
• 申請（專利權）人: 安徽熙泰智能科技有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/50;H01L51/56
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 馬榮

本發明提供一種應用于Micro OLED技術領域的Micro OLED器件結構的制備方法，本發明還涉及一種Micro OLED器件結構，所述的Micro OLED器件結構制備方法的制備步驟為：在硅片基底上制備CMOS驅動電路，形成CMOS基板(a)；在CMOS基板(a)上制備Anode層(b)；在Anode層(b)上通過黃光制程制備PDL層(c)，PDL層(c)分為三層，第一層為聚酰亞胺或無機層，第二層為Ag，第三層為聚酰亞胺或無機層；蒸鍍制程制備OLED層(d)；制備TFE層(h)；完成后續黃光及模組制程，本發明所述的Micro OLED器件結構制備方法及結構，使得反射層能夠將斜射的光線反射回去，減輕出光的散射效應，達到降低串光的效果。

技術領域

本發明屬于Micro OLED技術領域，更具體地說，是涉及一種Micro OLED器件結構的制備方法，本發明還涉及一種Micro OLED器件結構。

背景技術

Micro OLED(Organic Light Emitting Display)是一種微型OLED顯示技術，主要應用于特種軍用顯示(槍支瞄準鏡/單兵作戰頭盔顯示器/飛行員頭盔等)以及民用消費電子領域(AR/VR/微型投影儀/航空拍攝等)，Micro OLED具有體積小、重量輕、功耗低、對比度高、分辨率高等優點，將會迎來爆發式增長。在micro OLED的產品中，一般都是采用白光加彩膠層(CF層)的方式實現彩色顯示，而使用這種結構時，發光層與彩膠層(CF層)之間間隔有封裝層、OC層，距離較遠，容易發生串光現象，導致偏色、色域降低等問題。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：針對現有技術的不足，提供一種步驟簡單，在PDL層內部設置反射層，將PDL分成三層，使得反射層能夠將斜射的光線反射回去，從而減輕出光的散射效應，達到降低串光的效果，提高產品整體性能的Micro OLED器件結構的制備方法。

要解決以上所述的技術問題，本發明采取的技術方案為：

本發明為一種Micro OLED器件結構制備方法，所述的Micro OLED器件結構制備方法的制備步驟為：

S1.在硅片基底上制備CMOS驅動電路，形成CMOS基板；

S2.在CMOS基板上制備Anode層；

S3.在Anode層上通過黃光制程制備PDL層，PDL層分為三層，第一層為聚酰亞胺或無機層，其中無機層包括但不限于SiN、SiO、SiON，第一層厚度為50nm-500nm，第二層為Ag，第二層厚度為5nm-100nm，第三層為聚酰亞胺或無機層，其中無機層包括但不限于SiN、SiO、SiON，第三層厚度為50nm-500nm；

S4.蒸鍍制程制備OLED層；

S5.制備TFE層h；

S6.完成后續OC1層、CF層、OC2層制備黃光制程，及貼合、切割的模組制程。

蒸鍍制程制備的OLED層d包括有機發光層、cathode層、CPL膜層。

制備TFE層h時，制備方法包括但不限于ALD、PECVD、IJP，TFE層h的膜層結構為Al2O3或TiO2或ATO或SiN或SiON或SiO或亞克力系有物或環氧樹脂系有機物膜層中的一種或幾種的組合。

本發明還涉及一種結構簡單，通過局部結構改進，在PDL層內部設置反射層，將PDL分成三層，使得反射層能夠將斜射的光線反射回去，減輕出光的散射效應，達到降低串光的效果，提高產品整體性能的Micro OLED器件結構。

所述的Micro OLED器件結構包括CMOS基板a、陽極Anode、PDL層c、OLED層d、OC1層f、OC2層g、TFE層h、CG層i、CF層j。