[發明專利]半導體元件平移式測試打碼編帶一體機有效
| 申請號: | 202110714277.0 | 申請日: | 2021-06-25 |
| 公開(公告)號: | CN113539872B | 公開(公告)日: | 2022-02-22 |
| 發明(設計)人: | 單忠頻;薛克瑞;周圣軍;繆來虎;胡紅坡;陳樹釗;康茂 | 申請(專利權)人: | 廣東歌得智能裝備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司: | 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 盧勁亮 |
| 地址: | 528200 廣東省佛山市南海區桂城街*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 元件 平移 測試 打碼編帶 一體機 | ||
1.一種半導體元件平移式測試打碼編帶一體機,其特征在于,包括工作臺、依次從左往右設置在工作臺上的上料過渡測試治具、長時間測試區、下料過渡測試治具,所述長時間測試區上以矩形陣列的排布方式設置有多個長時間測試治具;所述上料過渡測試治具與長時間測試治具通過上料開夾機械手銜接,下料過渡測試治具與長時間測試治具通過下料開夾機械手銜接,所述上料過渡測試治具的上游設置有元件搬運裝置,元件搬運裝置用于將料盤上的半導體元件搬運至上料過渡測試治具進行測試,下料過渡測試治具的下游依次設有打標裝置以及編帶包裝裝置;下料過渡測試治具與打標裝置之間通過打標轉移機械手銜接,打標裝置與編帶包裝裝置之間通過包裝轉移機械手銜接;每個所述長時間測試治具包括測試底座、設置在測試底座上的測試電路元件以及自動夾件器,所述上料開夾機械手和下料開夾機械手均能使自動夾件器打開完成對半導體元件的轉移;長時間測試的時長為30min-1h;上料過渡測試治具用于對半導體元件進行第一次短時間測試,第一次短時間測試的時長為5s-10s;下料過渡測試治具用于對半導體元件進行第二次短時間測試,第二次短時間測試的時長為5s-10s。
2.根據權利要求1所述的半導體元件平移式測試打碼編帶一體機,其特征在于,所述自動夾件器包括兩個對稱設置在測試底座上的夾爪,每個夾爪包括自上而下依次連接設置的夾件部、連接部以及彎腳部,所述連接部與測試底座轉動連接,所述測試底座上安裝有用于驅使兩個夾爪的夾件部相互靠近的彈性構件。
3.根據權利要求2所述的半導體元件平移式測試打碼編帶一體機,其特征在于,所述上料開夾機械手包括x軸滑移模組、設置在x軸滑移模組上的第一機架、設置在第一機架上的y軸滑移模組、設置在y軸滑移模組上的第二機架、設置在第二機架上的開夾組件和z軸滑移模組、設置在z軸滑移模組上的吸取機構。
4.根據權利要求3所述的半導體元件平移式測試打碼編帶一體機,其特征在于,所述開夾組件包括設置在第二機架的開夾安裝板、與開夾安裝板滑動連接的z軸滑板、用于驅動z軸滑板上下移動的解鎖氣缸,所述z軸滑板上設有兩個與夾爪位置相對應的L形支臂,每個L形支臂的底部設有解鎖器,所述解鎖器包括具有下凹腔的解鎖支座,水平設置在下凹腔中的支軸、若干個可轉動地套在支軸上的壓輪。
5.根據權利要求3所述的半導體元件平移式測試打碼編帶一體機,其特征在于,所述吸取機構包括吸取安裝座、豎直設置在吸取安裝座上的軸套,設置在軸套底部的導向座,軸套上設有一個橫截面為非圓形的軸向通孔,該軸向通孔中插入一根與軸向通孔的形狀相適配的內軸,該內軸的底部向下伸出軸向通孔且連接有吸盤安裝座,吸盤安裝座的底部設有吸盤,所述內軸上套裝有緩沖彈簧,該緩沖彈簧位于吸盤安裝座與導向座之間,所述內軸的頂部設有限位卡簧,所示內軸上設有一個軸向通道,軸向通道的底端與吸盤連通,軸向通道的頂端連接有氣嘴。
6.根據權利要求1所述的半導體元件平移式測試打碼編帶一體機,其特征在于,所述元件搬運裝置包括第一推車、第二推車、設置在工作臺上的取件機械手和料盤y軸傳送機構,所述料盤y軸傳送機構具有料盤進給工位、取料工位以及料盤回收工位,所述取料工位的下方設置有取料頂升機構,所述料盤進給工位的下方設有第一料盤z軸升降機構,所述料盤回收工位的下方設有第二料盤z軸升降機構,第一料盤z軸升降機構與第一料盤x軸傳送機構銜接,第二料盤z軸升降機構與第二料盤x軸傳送機構銜接,所述取件機械手用于將取料工位上的半導體元件搬運至測試治具上實現質量測試,所述第一推車上碼垛放置有多個裝滿半導體元件的料盤,所述第一料盤x軸傳送機構用于將第一推車上的所有料盤一次性地搬運至第一料盤z軸升降機構上;所述第二料盤x軸傳送機構用于將第二料盤z軸升降機構上的空料盤一次地搬運至第二推車上。
7.根據權利要求6所述的半導體元件平移式測試打碼編帶一體機,其特征在于,所述第一推車包括可移動的車架、兩塊對稱設置在車架頂部的限位頂板;每塊限位頂板上安裝有限位側板,兩塊限位側板之間設有供料盤碼垛放置的料盤儲藏腔,所述限位頂板用于承托料盤;兩塊限位頂板分離設置,形成舉升避讓通道。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





