[發明專利]用于芯片檢測的參考模板的生成方法及相關設備在審
| 申請號: | 202110711170.0 | 申請日: | 2021-06-25 |
| 公開(公告)號: | CN113514475A | 公開(公告)日: | 2021-10-19 |
| 發明(設計)人: | 林宜龍;劉飛;王能翔;林濤;官聲文 | 申請(專利權)人: | 深圳格芯集成電路裝備有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/93 | 分類號: | G01N21/93;G01N21/88 |
| 代理公司: | 深圳市特訊知識產權代理事務所(普通合伙) 44653 | 代理人: | 孟智廣 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市坪山區龍田街道*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 芯片 檢測 參考 模板 生成 方法 相關 設備 | ||
1.一種用于芯片檢測的參考模板的生成方法,其特征在于,所述方法包括:
獲取芯片數據;
根據所述芯片數據,生成所述芯片數據對應的映射模板;
將所述映射模板與預設的良品圖像進行匹配,得到匹配結果;
根據所述匹配結果,對所述映射模板進行調整,得到參考模板。
2.根據權利要求1所述用于芯片檢測的參考模板的生成方法,其特征在于,所述根據所述芯片數據,生成所述芯片數據對應的映射模板,具體包括:
根據預設的提取規則,提取所述芯片數據中的模板數據;
根據所述模板數據,生成所述芯片數據對應的映射模板。
3.根據權利要求2所述用于芯片檢測的參考模板的生成方法,其特征在于,所述模板數據包括尺寸數據以及若干個焊接點對對應的位置坐標。
4.根據權利要求3所述用于芯片檢測的參考模板的生成方法,其特征在于,所述根據所述模板數據,生成所述芯片數據對應的映射模板,具體包括:
根據所述尺寸數據,創建與所述芯片數據對應的空白模板;
針對每一個所述焊接點對,根據所述空白模板中該焊接點對對應的位置坐標,在所述空白模板上進行連線,生成該焊接點對應的焊接曲線以及包括所述焊接曲線的映射模板。
5.根據權利要求4所述用于芯片檢測的參考模板的生成方法,其特征在于,所述芯片數據還包括每一個所述焊接點對對應的焊接弧度數據;所述針對每一個所述焊接點對,根據所述空白模板中該焊接點對對應的位置坐標,在所述空白模板上進行連線,生成該焊接點對應的焊接曲線以及包括所述焊接曲線的映射模板,具體包括:
針對每一個所述焊接點對,根據所述空白模板中該焊接點對對應的位置坐標,對該焊接點對進行連接,得到初始曲線;
根據所述焊接弧度數據,對所述初始曲線進行調整,得到中間曲線;
根據預設的膨脹參數,對所述中間曲線進行膨脹,得到焊接曲線以及所述映射模板。
6.根據權利要求5所述用于芯片檢測的參考模板的生成方法,其特征在于,所述根據預設的膨脹參數,對所述中間曲線進行膨脹,得到目標曲線之前,還包括:
獲取芯片數據對應的工藝參數;
根據所述工藝參數,確定所述芯片數據對應的膨脹參數。
7.根據權利要求1~6中任意一項所述用于芯片檢測的參考模板的生成方法,其特征在于,所述根據所述匹配結果,對所述映射模板進行調整,得到參考模板之后,還包括:
將所述參考模板發送至預先連接的芯片檢測裝置,以供所述芯片檢測裝置根據所述參考模板對待檢測的芯片進行檢測。
8.一種用于芯片檢測的參考模板的生成裝置,其特征在于,所述用于芯片檢測的參考模板的生成裝置具體包括:
獲取模塊,用于獲取芯片數據;
生成模塊,用于根據所述芯片數據,生成所述芯片數據對應的映射模板;
匹配模塊,用于將所述映射模板與預設的良品圖像進行匹配,得到匹配結果;
調整模塊,用于根據所述匹配結果,對所述映射模板進行調整,得到參考模板。
9.一種計算機可讀存儲介質,其特征在于,所述計算機可讀存儲介質存儲有一個或者多個程序,所述一個或者多個程序可被一個或者多個處理器執行,以實現如權利要求1~7任意一項所述的用于芯片檢測的參考模板的生成方法中的步驟。
10.一種終端設備,其特征在于,包括:處理器、存儲器及通信總線;
所述存儲器上存儲有可被所述處理器執行的計算機可讀程序;
所述通信總線實現處理器和存儲器之間的連接通信;
所述處理器執行所述計算機可讀程序時實現如權利要求1~7任意一項所述的用于芯片檢測的參考模板的生成方法中的步驟。
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