[發明專利]掩模檢查設備和方法

在審

• 申請號: 202110702905.3
• 申請日: 2021-06-24
• 公開（公告）號: CN114114828A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 白大源
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G03F1/84
• 分類號: G03F1/84
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 郭艷芳;康泉

本發明提供一種掩模檢查設備和方法。具體地，提供一種用于檢查沉積掩模的掩模檢查方法和掩模檢查設備。掩模檢查方法包括：提供包括多個第一開口和多個第二開口的沉積掩模，第一開口中的每一個具有在平面圖中不同于第二開口中的每一個的形狀的形狀；指定第一組和第二組，每一組包括第一開口中的至少一個和第二開口中的至少一個；比較第一組的圖像與第二組的圖像；以及確定第一組和第二組是否有缺陷，第一組中的第一開口和第二開口的布置與第二組中的第一開口和第二開口的布置相同。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2020年6月29日在韓國知識產權局提交的韓國專利申請第10-2020-0079076號的優先權和權益，其全部內容通過引用合并于此。

技術領域

本公開的實施例的各方面涉及一種掩模檢查設備和一種掩模檢查方法。

背景技術

通常，有機發光二極管(OLED)顯示器由于其優異的亮度和視角特性，并且與液晶顯示裝置不同，其不需要任何單獨的光源，而作為下一代平板顯示裝置受到關注。在消除了任何單獨光源的必要性的情況下，可以制造出具有重量輕且薄的設計的OLED顯示器。OLED顯示器的特征還在于低功耗、高亮度和高反應速率等。

OLED顯示器包括多個有機發光二極管，每個有機發光二極管由陽極、有機發光層和陰極組成。在制造有機發光二極管的工藝中，將沉積掩模設置在基板上，并通過形成在沉積掩模中的開口將有機材料提供到基板上，以形成有機發光層。隨著技術的進步，顯示裝置具有越來越多的有機發光二極管，以滿足高分辨率要求。

有機發光二極管的數量增加意味著用于制造有機發光層的沉積掩模的開口的數量增加。這種沉積掩模由包括金屬的材料形成，并且由于制造問題，可能并非多個開口中的所有開口都具有圖案中所期望的精確形狀。這可能導致沉積圖案中的缺陷。為了避免這種缺陷，預先檢查掩模。

發明內容

根據本公開的實施例的各方面，提供了能夠一次檢查具有不同形狀的開口的掩模的任何缺陷的掩模檢查設備和方法。

然而，本公開的各方面不限于本文闡述的那些方面。通過參考下面提供的本公開的詳細描述，本公開的以上和其它方面對于本公開所屬領域的普通技術人員將變得更加顯而易見。

根據一個或多個實施例，一種掩模檢查方法包括：提供包括多個第一開口和多個第二開口的沉積掩模，第一開口中的每一個具有在平面圖中不同于第二開口中的每一個的形狀的形狀；指定第一組和第二組，每一組包括第一開口中的至少一個和第二開口中的至少一個；比較第一組的圖像與第二組的圖像；以及基于比較第一組的圖像與第二組的圖像的結果，確定第一組和第二組是否有缺陷，其中，第一組中的第一開口和第二開口的布置與第二組中的第一開口和第二開口的布置相同。

根據一個或多個實施例，一種掩模檢查方法包括：提供包括多個第一開口和多個第二開口的沉積掩模，第一開口中的每一個具有在平面圖中不同于第二開口中的每一個的形狀的形狀；準備包括多個第一開口中的第一開口和多個第二開口中的第二開口的參考圖像；指定多個組，每一組包括多個第一開口中的第一開口和多個第二開口中的第二開口；比較多個組中的組的圖像與參考圖像；以及基于比較該組的圖像與參考圖像的結果確定該組是否有缺陷，其中，該組中的第一開口和第二開口的布置與參考圖像中的第一開口和第二開口的布置相同。

根據一個或多個實施例，一種用于檢查沉積掩模的掩模檢查設備，沉積掩模包括多個第一開口和多個第二開口，第二開口中的每一個具有在平面圖中不同于第一開口中的每一個的形狀的形狀，該掩模檢查設備包括：被配置為支撐沉積掩模的支撐臺；視覺單元，與支撐臺間隔開并且被配置為捕獲沉積掩模的圖像；以及控制器，被配置為基于由視覺單元捕獲的圖像來確定第一開口和第二開口是否有缺陷，其中，控制器指定第一組和第二組，每一組包括第一開口中的至少一個和第二開口中的至少一個，并且控制器比較通過對第一組進行成像而獲得的第一圖像與通過對第二組進行成像而獲得的第二圖像。