[發明專利]晶元搜索方法、裝置、電子設備及計算機可讀存儲介質

有效

• 申請號: 202110700883.7
• 申請日: 2021-06-23
• 公開（公告）號: CN113426714B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 周贊
• 申請（專利權）人: 深圳新益昌科技股份有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36;B07C5/342;G06T7/00;G06T7/70
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 梁立耀

1.一種晶元搜索方法，其特征在于，包括：

獲取晶圓的晶圓圖及基準點的第一位置信息，所述晶圓圖包含每個晶元的索引參數及位置參數，所述晶圓包括多個所述晶元，所述第一位置信息為所述基準點在擴充藍膜前的位置信息，所述基準點的數量為多個，每個所述基準點位于藍膜的位置均不同；

根據所述基準點的第一位置信息、所述索引參數和所述位置參數，生成晶元分布地圖，所述晶元分布地圖包括每個所述晶元相對于所述基準點的位置分布信息；

根據所述第一位置信息和第二位置信息，確定出擴充藍膜前后的第一基準點距離變化量，所述第二位置信息為所述基準點在擴充藍膜后的位置信息；

根據所述第一基準點距離變化量對所述晶元分布地圖進行修正，得到修正后的晶元分布地圖；

根據所述修正后的晶元分布地圖和執行設備的當前位置，確定最優路徑和待吸取晶元，所述最優路徑為所述執行設備從所述當前位置到所述待吸取晶元的位置的最短路徑，所述執行設備用于吸取晶元。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于：所述晶圓圖還包含測試參數；所述方法還包括：

根據所述測試參數剔除不符合預設條件的晶元，得到良品晶元；

根據所述基準點的第一位置信息、所述索引參數和所述位置參數，生成晶元分布地圖，包括：

根據所述第一位置信息、所述良品晶元對應的所述索引參數和所述位置參數，生成所述晶元分布地圖。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于：根據所述第一基準點距離變化量對所述晶元分布地圖進行修正，得到修正后的晶元分布地圖，包括：

根據所述第一基準點距離變化量，確定相鄰所述晶元之間的距離變化量，得到晶元距離變化量；

根據所述晶元距離變化量，修正所述晶元分布地圖。

4.如權利要求1-3任一項所述的方法，其特征在于：確定最優路徑和待吸取晶元之后，還包括：

根據所述第二位置信息及第三位置信息，確定出吸取晶元前后的第二基準點距離變化量，所述第三位置信息為所述基準點在吸取晶元后的位置信息；

根據所述第二基準點距離變化量，對所述晶元分布地圖進行修正，得到修正后的晶元分布地圖。

5.如權利要求1-3任一項所述的方法，其特征在于：確定最優路徑和待吸取晶元之后，還包括：

獲取在固晶點處所述執行設備的第一傳感器狀態及固晶點圖像；

根據所述第一傳感器狀態及所述固晶點圖像，確定已吸取晶元的生產狀態；

根據所述生產狀態，在所述晶元分布地圖中剔除所述已吸取晶元對應的數據，并更新所述生產狀態的顯示。

6.如權利要求5所述的方法，其特征在于：獲取固晶點處所述執行設備的第一傳感器狀態和固晶點圖像之前，還包括：

獲取在所述當前位置處的所述執行設備的第二傳感器狀態及晶元圖像；

根據所述第二傳感器狀態及晶元圖像，確定所述執行設備是否吸取成功；

若吸取成功，則進入獲取固晶點處所述執行設備的第一傳感器狀態及固晶點圖像的步驟。

7.一種晶元搜索裝置，其特征在于，包括：

獲取單元，用于獲取晶圓的晶圓圖及基準點的第一位置信息，所述晶圓圖包含每個晶元的索引參數及位置參數，所述晶圓包括多個所述晶元，所述第一位置信息為所述基準點在擴充藍膜前的位置信息，所述基準點的數量為多個，每個所述基準點位于藍膜的位置均不同；

生成單元，用于根據所述基準點的第一位置信息、所述索引參數和所述位置參數，生成晶元分布地圖，所述晶元分布地圖包括每個所述晶元相對于所述基準點的位置分布信息；

根據所述第一位置信息和第二位置信息，確定出擴充藍膜前后的第一基準點距離變化量，所述第二位置信息為所述基準點在擴充藍膜后的位置信息；

修正單元，用于根據所述第一基準點距離變化量對所述晶元分布地圖進行修正，得到修正后的晶元分布地圖；

搜索單元，用于根據所述修正后的晶元分布地圖和執行設備的當前位置，確定最優路徑和待吸取晶元，所述最優路徑為所述執行設備從所述當前位置到所述待吸取晶元的位置的最短路徑，所述執行設備用于吸取晶元。