[發明專利]用于確定MEMS裝置的鏡體的扭轉角的方法

在審

• 申請號: 202110698212.1
• 申請日: 2021-06-23
• 公開（公告）號: CN114063279A
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: F·M·達勒
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10;B81B7/02
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 閆昊

本公開的實施例涉及用于確定MEMS裝置的鏡體的扭轉角的方法。一種方法包括向MEMS裝置的靜電梳狀驅動器施加驅動電壓，并將周期性電壓信號與驅動電壓疊加。該方法還包括基于周期性電壓信號確定MEMS裝置的鏡體的扭轉角。

技術領域

本公開涉及用于確定MEMS裝置的鏡體的扭轉角的方法。本公開還涉及可以通過這樣的方法操作的MEMS裝置。

背景技術

MEMS(微機電系統)裝置可以是例如LIDAR(光檢測和測距)掃描裝置，例如其例如可以應用在全自動或部分自動的自行駛汽車中。在這樣的裝置中，可以使用具有可控扭轉角的鏡體，以便能夠沿不同方向反射光。鏡體的扭轉角可以取決于施加到靜電梳狀驅動器上的電壓。對于MEMS裝置的適宜操作，應確保鏡體實際上被偏轉了通過電壓設置的扭轉角。MEMS裝置制造商一直在努力改善其產品。特別地，可能期望提供用于確定MEMS裝置的鏡體的扭轉角的改進方法。

發明內容

各個方面涉及一種方法。該方法包括向MEMS裝置的靜電梳狀驅動器施加驅動電壓。該方法還包括將周期性電壓信號與驅動電壓疊加。該方法還包括基于周期性電壓信號，確定MEMS裝置的鏡體的扭轉角。

各個方面涉及一種MEMS裝置。MEMS裝置包括鏡體和一個或多個靜電梳狀驅動器，所述靜電梳狀驅動器用于基于一個或多個驅動電壓來旋轉鏡體。MEMS裝置還包括用于將一個或多個周期性電壓信號與一個或多個驅動電壓疊加的單元。MEMS裝置還包括用于基于一個或多個周期性電壓信號來確定鏡體的扭轉角的單元。

附圖說明

下面參考附圖更詳細地解釋根據本公開的方法和裝置。附圖中所示的元件不必相對于彼此按比例繪制。相同的附圖標記可以指定相同的組件。

圖1示出了根據本公開的MEMS裝置100的示意性俯視圖。

圖2示出了根據本公開的MEMS裝置200的示意性截面側視圖。

圖3示出了根據本公開的MEMS裝置300的示意性透視圖。

圖4示意性地示出了根據本公開的MEMS裝置400。

圖5示意性地示出了根據本公開的MEMS裝置500。

圖6示出了根據本公開的MEMS裝置的鏡體的取決于扭轉角的電壓曲線和電容曲線。

圖7示出了根據本發明的方法的流程圖。

圖8示意性地示出了根據本公開的MEMS裝置800。

圖9示出了根據本公開的MEMS裝置900的示意性俯視圖。

圖10示意性地示出了根據本公開的MEMS裝置1000。

具體實施方式

下面描述的附圖示出了MEMS裝置以及用于操作這種MEMS裝置的方法。可以以一般方式呈現所描述的裝置和方法，以便定性地描述本公開的各方面。為了簡單起見，所描述的裝置和方法可以具有在相應附圖中未示出的其他方面。然而，可以將各個示例擴展為包括結合根據本公開的其他示例所描述的方面。因此，對特定附圖的陳述可以等同地應用于其他附圖的示例。

圖1的MEMS裝置100可以具有鏡體(或掃描器主體)2、(特別是剛性的)框架4和懸架結構6。鏡體2可以設計成繞樞軸或旋轉軸A旋轉。兩個相對的懸架結構6可以將鏡體2與框架4機械連接。例如，每個懸架結構6均可以具有扭桿形式的彈簧元件，盡管懸架結構6不限于這種特定的示例性實施例。懸掛結構6或彈簧元件可以基本平行于鏡體2的樞軸A延伸或限定。