[發明專利]用于確定MEMS裝置的鏡體的扭轉角的方法在審
| 申請號： | 202110698212.1 | 申請日： | 2021-06-23 |
| 公開（公告）號： | CN114063279A | 公開（公告）日： | 2022-02-18 |
| 發明（設計）人： | F·M·達勒 | 申請（專利權）人： | 英飛凌科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08;G02B26/10;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 閆昊 |
| 地址： | 德國諾伊*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 確定 mems 裝置 扭轉 方法 | ||
1.一種方法，包括：
向MEMS裝置的靜電的梳狀驅動器(8)施加驅動電壓(HVL，HVR)；
將所述驅動電壓(HVL，HVR)與周期性電壓信號(FuSaL，FuSaR)疊加；以及
基于所述周期性電壓信號(FuSaL，FuSaR)，確定所述MEMS裝置的鏡體(2)的扭轉角(Φ)。
2.根據權利要求1所述的方法，其中向靜電的所述梳狀驅動器(8)施加所述驅動電壓(HVL，HVR)包括：
向所述梳狀驅動器(8)的第一定子(16A)施加第一驅動電壓(HVL)；以及
向所述梳狀驅動器(8)的第二定子(16B)施加第二驅動電壓(HVR)。
3.根據權利要求2所述的方法，其中將所述驅動電壓(HVL，HVR)與周期性電壓信號(FuSaL，FuSaR)疊加包括：
將所述第一驅動電壓(HVL)與第一周期性電壓信號(FuSaL)疊加；以及
將所述第二驅動電壓(HVR)與第二周期性電壓信號(FuSaR)疊加。
4.根據權利要求3所述的方法，其中所述第一周期性電壓信號(FuSaL)和所述第二周期性電壓信號(FuSaR)基本上是相位相反的。
5.根據權利要求3或4所述的方法，其中所述第一周期性電壓信號(FuSaL)和所述第二周期性電壓信號(FuSaR)的頻率分別高于所述MEMS裝置的諧振頻率。
6.根據權利要求3至5中任一項所述的方法，其中所述第一周期性電壓信號(FuSaL)和所述第二周期性電壓信號(FuSaR)的頻率分別在1MHz至100MHz的范圍內。
7.根據權利要求3至6中任一項所述的方法，其中所述第一周期性電壓信號(FuSaL)和所述第二周期性電壓信號(FuSaR)的幅度分別在0.1V至lV的范圍內。
8.根據權利要求3至7中任一項所述的方法，還包括：
確定所述梳狀驅動器(8)的轉子(10)處的測量信號，所述測量信號基于所述第一周期性電壓信號(FuSaL)和所述第二周期性電壓信號(FuSaR)。
9.根據權利要求8所述的方法，其中確定所述扭轉角(Φ)包括：
基于在所述梳狀驅動器(8)的所述轉子(10)處的測量信號與扭轉角(Φ)之間的存儲映射，將所述測量信號映射到所述扭轉角(Φ)。
10.根據權利要求9所述的方法，還包括：
在所述MEMS裝置的校準期間，生成所述存儲映射。
11.根據權利要求8至10中任一項所述的方法，其中所述測量信號基于商其中：
FuSaL是所述第一周期性電壓信號，并且
FuSaR是所述第二周期性電壓信號。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于英飛凌科技股份有限公司，未經英飛凌科技股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110698212.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：襯底處理裝置
- 下一篇：用于金屬合金的激光器粉末床融合處理的激光器陣列
