[發明專利]一種供氣系統和供氣方法

有效

• 申請號: 202110696784.6
• 申請日: 2021-06-23
• 公開（公告）號: CN113464844B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 張爽;鄭琨;朱熹;熊佳瑜;陳浩
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;H01L21/67
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 李路遙;張穎玲

1.一種供氣系統，其特征在于，包括依次連接的氣源總成、第一氣路、質量流量控制器、第二氣路以及目標設備；

當所述氣源總成處于工作狀態，所述氣源總成與所述質量流量控制器之間通過所述第一氣路保持連通，所述質量流量控制器與所述目標設備之間通過所述第二氣路保持連通，所述第一氣路和所述第二氣路之間通過所述質量流量控制器選擇性地連通；

所述氣源總成包括依次連接的氣源組件、第四氣路以及過濾器；

當所述氣源總成處于工作狀態，所述氣源組件配置為向所述過濾器供氣，所述過濾器與所述質量流量控制器之間通過所述第一氣路保持連通；

所述氣源組件包括依次連接的氣源裝置、第五氣路以及開關閥，所述氣源裝置與所述過濾器通過所述開關閥選擇性地連通，所述開關閥處于常開狀態。

2.根據權利要求1所述的供氣系統，其特征在于，所述第一氣路為第一輸送管，所述第一輸送管分別與所述氣源總成和所述質量流量控制器直接連接；和/或，所述第二氣路為第二輸送管，所述第二輸送管分別與所述質量流量控制器和目標設備直接連接。

3.根據權利要求1或2所述的供氣系統，其特征在于，所述質量流量控制器包括在所述第一氣路與所述第二氣路之間依次連接的質量流量計、第三氣路以及流量調節閥，所述質量流量計測得的流量用于確定所述流量調節閥的開度；

當所述氣源總成處于工作狀態，所述質量流量計與所述氣源總成之間通過所述第一氣路保持連通，所述流量調節閥與所述目標設備之間通過所述第二氣路保持連通。

4.根據權利要求1或2所述的供氣系統，其特征在于，所述質量流量控制器包括在所述第一氣路與所述第二氣路之間依次連接的流量調節閥、第三氣路以及質量流量計，所述質量流量計測得的流量用于確定所述流量調節閥的開度；

當所述氣源總成處于工作狀態，所述流量調節閥與所述氣源總成之間通過所述第一氣路保持連通，所述質量流量計與所述目標設備之間通過所述第二氣路保持連通。

5.根據權利要求1或2所述的供氣系統，其特征在于，所述第四氣路為第四輸送管，所述第四輸送管分別與所述氣源組件和所述過濾器直接連接。

6.根據權利要求1或2所述的供氣系統，其特征在于，所述第五氣路為第五輸送管，所述第五輸送管分別與所述氣源裝置和所述開關閥直接連接。

7.根據權利要求1或2所述的供氣系統，其特征在于，所述目標設備為清洗機臺，所述清洗機臺配置為對晶圓進行清洗和干燥。

8.一種供氣方法，其特征在于，應用于權利要求1~7任一項所述的供氣系統，所述供氣方法包括連通步驟和截止步驟；

所述連通步驟包括：打開所述質量流量控制器，通過所述質量流量控制器連通所述氣源總成與所述目標設備；

所述截止步驟包括：關閉所述質量流量控制器，通過所述質量流量控制器將所述氣源總成與所述目標設備之間截止。