[發明專利]檢查裝置及檢查方法

在審

• 申請號: 202110695969.5
• 申請日: 2021-06-23
• 公開（公告）號: CN113834812A
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 河崎武士;藤井雅治
• 申請（專利權）人: JUKI株式會社
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

本發明適當地實施具有彎曲面的對象物的外觀檢查。檢查裝置具有：工作臺，其對具有彎曲面的對象物進行支撐；照明裝置，其通過照明光對支撐于工作臺的對象物進行照明；拍攝裝置，其具有光學系統及圖像傳感器；拍攝控制部，其使所述拍攝裝置對在光學系統的視野范圍配置的彎曲面的調整用圖像進行拍攝；以及工作臺控制部，其將工作臺傾斜，對調整用圖像的亮度進行調整。拍攝控制部在調整用圖像的亮度被調整后，使拍攝裝置對在視野范圍配置的彎曲面的檢查用圖像進行拍攝。

技術領域

本發明涉及檢查裝置及檢查方法。

背景技術

在電子設備的生產工序中，使用如專利文獻1公開那樣的部件安裝裝置(被安裝物作業裝置)。安裝有部件的基板的外觀通過被稱為自動光學檢查裝置(AOI：AutomatedOptical Inspection)的檢查裝置進行檢查。

專利文獻1：國際公開第2019/111388號

存在希望使用檢查裝置而實施各種對象物的外觀檢查這一要求。例如存在希望適當地實施具有彎曲面的對象物的外觀檢查這一要求。

發明內容

本發明的目的在于，適當地實施具有彎曲面的對象物的外觀檢查。

按照本發明，提供一種檢查裝置，其具有：工作臺，其對具有彎曲面的對象物進行支撐；照明裝置，其通過照明光對支撐于所述工作臺的所述對象物進行照明；拍攝裝置，其具有光學系統及圖像傳感器；拍攝控制部，其使所述拍攝裝置對在所述光學系統的視野范圍配置的所述彎曲面的調整用圖像進行拍攝；以及工作臺控制部，其將所述工作臺傾斜，對所述調整用圖像的亮度進行調整，所述拍攝控制部在所述調整用圖像的亮度被調整后，使所述拍攝裝置對在所述視野范圍配置的所述彎曲面的檢查用圖像進行拍攝。

發明的效果

根據本發明，能夠適當地實施具有彎曲面的對象物的外觀檢查。

附圖說明

圖1是示意地表示實施方式所涉及的檢查裝置的圖。

圖2是表示實施方式所涉及的控制裝置的功能框圖。

圖3是表示實施方式所涉及的檢查方法的流程圖。

圖4是從上方觀察在實施方式所涉及的工作臺支撐的對象物的圖。

圖5是示意地表示在實施方式所涉及的光學系統的視野范圍配置有彎曲面的第1范圍的狀態的圖。

圖6是示意地表示實施方式所涉及的彎曲面的第1范圍的調整用圖像的圖。

圖7是用于對實施方式所涉及的工作臺控制部的處理進行說明的圖。

圖8是示意地表示實施方式所涉及的工作臺傾斜后的彎曲面的第1范圍的調整用圖像的圖。

圖9是示意地表示在實施方式所涉及的顯示裝置顯示出的第1范圍的檢查用圖像的圖。

圖10是示意地表示在實施方式所涉及的光學系統的視野范圍配置有彎曲面的第2范圍的狀態的圖。

圖11是表示實施方式所涉及的計算機系統的框圖。

圖12是用于對其他實施方式所涉及的工作臺控制部的處理進行說明的圖。

具體實施方式

下面，一邊參照附圖，一邊對本發明所涉及的實施方式進行說明，但本發明并不限定于此。下面進行說明的實施方式的結構要素能夠適當組合。另外，有時不使用一部分的結構要素。